光学检查机 Candela® 8xxx series

表面裂纹自动化

Candela® 8xxx 先进的复合半导体材料表面检测 Candela® 8720 复合半导体材料表面检测系统可实现氮化镓相关材料、GaAs基板和外延的工艺控制，并且对生产功率器件，通信和RF器件以及高级LED（即将推出的microLED）生产制造中的关键缺陷具有较高的灵敏。 凭借专利光学设计和检测技术，Candela 8720能够对亚微米级别的缺陷进行检测和分类。目前其他检测方法还不能够持续稳定地识别这些缺陷，因而该系统可用于对生产线和限制良率的缺陷进行监控。 应用 工艺监控，设备监控，质量控制 相关产品 Candela® 8420: 复合半导体材料的表面检测。