电子显微镜 NP6800

用于分析测量高解析度

日立 NP6800 是基于 SEM 的专用探测系统，旨在满足 10 纳米及更高设计节点半导体器件的分析需求。 精密压电驱动致动器配备了 X、Y 和 Z 轴探针移动装置，可以非常精确地控制探针，以测量单个 MOS 晶体管的电气特性。 设计理念是创建一个易于使用的探测系统（如光学探测系统），同时通过我们直观的探头操作设计，即使在真空环境下也能保持同样的易操作性。 - 这种基于扫描电子显微镜的探测系统用于分析任何纳米级半导体器件制造过程中可能出现的缺陷和故障。 - NP6800 Nano-Prober 采用了优化的冷场发射电子源、八探针系统、-40 华氏度至 302 华氏度（-40 摄氏度至 150 摄氏度）的温控平台、用于检测栅极电阻的交流测量系统（可选）、用于定位短路和开路故障的 EBAC 系统以及用于实现最高吞吐量的探针和试样交换单元。 - NP6800 Nano-Prober 是作为专用的纳米探针系统开发的，不仅适用于高通量操作，还适用于纳米级半导体器件的高稳定性测量。该系统能够评估纳米级器件的电气特性、EBAC、EBIC、脉冲 IV 和温度要求。