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电子扫描显微镜 SU series多功能用于分析质量控制
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产品规格型号
- 分类
- 电子扫描
- 专业应用类型
- 表面糙度测定, 用于分析, 用于研究, 用于电子元件, 用于表面检测, 用于检查材料, 工业, 冶金, 质量控制, 用于材料研究, 用于制药业, 多功能, 用于陶瓷
- 配置
- 落地式
- 探测器类型
- 二次电子, 背向散射电子
- 其他特性
- 用于半导体, 高解析度, 自动化, 扫描式压力可变, 用于平面样本, 用于抛光样本, 用于空间成像, 纳米技术, 用于石棉识别, 地球科学用, 用于显微成像
- 倍率
最少: 5 unit
最多: 800,000 unit
- 空间分辨率
3 nm, 4 nm, 15 nm
产品介绍
集优异性能、操作简便性、多样化功能于一身
日立高新推出的扫描电镜SU3800/SU3900兼具操作性和扩展性，结合众多的自动化功能，可高效发挥其高性能。SU3900标配多功能超大样品仓，可应对大型样品的观察。
①SU3900标配多功能超大样品仓，可应对大型样品的观察
■样品台可搭载超大/超重样品
• 通过更换样品提示，可防止由于与样品的接触而损坏设备或样品
• 选配样品交换仓，可在主样品仓保持真空的状态下快速更换样品，大大提高了工作效率
• 具备样品台移动限制解除功能,提高了自由度*
• 红外CCD探测器，提高了样品台移动的安全性
■支持全视野移动。SEM MAP支持超大样品的全视野观察
• 与GUI联合，可配备样品仓室导航相机
• 覆盖整个可观察区域
• 支持360度旋转
②随着各种自动化功能的强化，操作性能得到了进一步优化
■一个鼠标就能够轻松操作的简约GUI
■各种自动化功能
• 自动调整算法经改良后，等待时间减少至以往的1/3以下(※S-3700N比例)
• 提高了自动聚焦精度
• 搭载Intelligent Filament Technology（IFT）
■Multi Zigzag，可实现多区域的大视野观察
■Report Creator，可利用获得的数据批量生成数据报告
