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扫描电子场发射显微镜 SU8600
用于分析3D冷场发射

扫描电子场发射显微镜
扫描电子场发射显微镜
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产品规格型号

分类
扫描电子场发射
专业应用类型
用于分析
观测技术
3D
电子源
冷场发射
探测器类型
背向散射电子, 能量色散X射线检测仪
其他特性
自动化, 超高解析度
倍率

最多: 2,000,000 unit

最少: 20 unit

空间分辨率

0.6 nm, 0.7 nm

产品介绍

超高分辨场发射扫描电子显微镜 SU8600系列 随着快速数据采集和数据处理技术的发展,电子显微镜进入了一个不仅重视数据质量,而且重视其采集过程的时代。SU8600系列秉承了Regulus8200系列的高质量图像、大束流分析及长时间稳定运行的冷场成像技术,同时还大大提升了高通量、自动数据获取能力。 超高分辨成像 日立的高亮度电子源可保证了即使在超低着陆电压下,也可获得超高分辨的图像。 0.8 kV电压条件下观察RHO型沸石的实例。左图为颗粒整体的形貌,右图为放大图像,颗粒表面细微的台阶结构清晰可见。低电压观察对于减少电子束损伤和获取表面形状信息较为有效 高衬度的低加速电压背散射图像 3D NAND截面观察; 在低加速电压条件下,背散射电子信号能够明显的显示出氧化硅层和氮化硅层的衬度差别。 快速BSE图像:新型闪烁体背散射电子探测器(OCD)* 由于使用了新型的OCD探测器,即使扫描时间不到1秒,也仍然可以观察到Fin-FET清晰的深层结构图像. 先进的自动化功能* EM Flow Creator 允许客户创建连续图像采集的自动化工作流程。EM Flow Creator将不同的SEM功能定义为图形化的模块,如设置放大倍率、移动样品位置、调节焦距和明暗对比度等。用户可以通过简单的鼠标拖拽,将这些模块按逻辑顺序组成一个工作程序。经过调试和确认后,该程序便可以在每次调用时自动获得高质量、重现性好的图像数据。

展厅

该卖家将出席以下展会

analytica 2024
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9-12 4月 2024 München (德国) 展会 A2 - 展台 113

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    36th Control 2024
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    23-26 4月 2024 Stuttgart (德国) 展台 7103

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    * 显示价格为参考价,此价格不含税、不含运费、不含关税,也不包含因安装或投入使用所产生的其他额外费用。参考价格可能因国家、原材料价格和汇率的不同而产生变化。