组合模块定位系统 Z3TH

XY 轴旋转立式

Z3TH复合模块将安装在现有XY平台顶部的模块范围扩大。Z3TH模块拥有4个自由度，提供364°的旋转角，双Z轴，其中一个用于圆晶装件与卸件的粗大调整，一个用于调焦的精密调整，以及0.1°以上的摇摆和倾斜修正。该Z3TH模块是取代压电式Z轴执行器的理想选择，它能消除开环控制的粘滞和非线性，同时为运动提供更优的跟随误差控制性能，其重复精度、运动和稳定时间性能均支持更大行程运动。 Z3TH模块主要用于前段应用，是以下应用的理想解决方案： - 对正加工刀与基体 - 平面度绘图 - 提升运动性能和稳定时间性能 第一个应用是光刻后段和圆晶生产控制。 特点 - 364°旋转角 - ±0.1°以上的摇摆和倾斜修正，以调整水平和提高运动和稳定时间 - 卡盘面接真空 - 双Z轴：装件/卸件的粗大调整和聚焦的精细调整 - 兼容ISO 1级超净车间 - 极小轴向和径向跳动，仅±1 µm 更多信息，请查看相应的“集成手册”。