晶圆控制模块 VULCANO XY
双轴

晶圆控制模块
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产品规格型号

技术参数
晶圆, 双轴

产品介绍

VULCANO XY 系统采用三件式设计,与机械轴承和高端光学编码器耦合在一起,实现了紧凑且成本高的解决方案。 底轴 (Y1 & Y2) 的底板由 2 个铁芯直线电机组成,在龙门模式下,与 AccuRe 控制器配合使用时,可实现更好的重复性和最佳控制效率。 上轴(X)由单个铁芯直线电机组成。 使用铁芯技术可提供高力密度,从而实现高加速度和速度,同时将工作温度保持在相当低的水平。 上轴(X)的底板,也容纳了底部轴(Y1 和 Y2)的电机,由铝制成,用于质量优化和动力学。 热膨胀由柔性元件处理。 特点: -紧凑型占地面积 -纳米位置稳定性 -短移动和沉淀时间 -高动态性 -高双向重复性 -高位置稳定性 -ISO 1 级洁净室兼容性

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展厅

该卖家将出席以下展会

BIEMH 2024
BIEMH 2024

3-07 6月 2024 Bilbao (西班牙) 展会 6 - 展台 C-04

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    * 显示价格为参考价,此价格不含税、不含运费、不含关税,也不包含因安装或投入使用所产生的其他额外费用。参考价格可能因国家、原材料价格和汇率的不同而产生变化。