VULCANO XY 系统采用三件式设计,与机械轴承和高端光学编码器耦合在一起,实现了紧凑且成本高的解决方案。
底轴 (Y1 & Y2) 的底板由 2 个铁芯直线电机组成,在龙门模式下,与 AccuRe 控制器配合使用时,可实现更好的重复性和最佳控制效率。 上轴(X)由单个铁芯直线电机组成。 使用铁芯技术可提供高力密度,从而实现高加速度和速度,同时将工作温度保持在相当低的水平。
上轴(X)的底板,也容纳了底部轴(Y1 和 Y2)的电机,由铝制成,用于质量优化和动力学。 热膨胀由柔性元件处理。
特点:
-紧凑型占地面积
-纳米位置稳定性
-短移动和沉淀时间
-高动态性
-高双向重复性
-高位置稳定性
-ISO 1 级洁净室兼容性
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