晶圆控制模块 VULCANO XYT
3轴

晶圆控制模块
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产品规格型号

技术参数
3轴, 晶圆

产品介绍

VULCANO XYT 平台由标准 VULCANO XY 组成,配备了 RTTB旋转模块,其中包括高分辨率编码器与出色的机械轴承耦合。 该平台的使用适用于但不限于: -晶圆过程控制应用,如叠加计量、临界尺寸和薄膜计量 -后端:在大型面板/基板上制造的特定倒装芯片工艺 特性 -紧凑型占地面积 - 纳米位置稳定性 -短移动和沉淀时间 -高动态 -高双向重复性 -高位置稳定性 -ISO 1 级洁净室兼容性

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* 显示价格为参考价,此价格不含税、不含运费、不含关税,也不包含因安装或投入使用所产生的其他额外费用。参考价格可能因国家、原材料价格和汇率的不同而产生变化。