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晶圆控制模块 VULCANO XYT3轴
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产品规格型号
- 技术参数
- 3轴, 晶圆
产品介绍
VULCANO XYT 平台由标准 VULCANO XY 组成，配备了 RTTB旋转模块，其中包括高分辨率编码器与出色的机械轴承耦合。
该平台的使用适用于但不限于：
-晶圆过程控制应用，如叠加计量、临界尺寸和薄膜计量
-后端：在大型面板/基板上制造的特定倒装芯片工艺
特性
-紧凑型占地面积
- 纳米位置稳定性
-短移动和沉淀时间
-高动态
-高双向重复性
-高位置稳定性
-ISO 1 级洁净室兼容性
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展厅
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