直接传动旋转轴 DXR+

用于电子应用用于半导体紧凑型

DXR+为ETEL的回转模块，结构紧凑，重量轻，配大型空心轴，用于满足半导体和电子行业的中端应用对高性价比的要求。 DXR+的刚性得到显著提高，对支撑回转模块的XY平台的控制带宽有直接的影响。DXR+模块使用48 VDC至300 VDC之间总线电压工作。可用AccurET 48或300模块驱动，对于更高位置稳定性要求的应用可用AccurET VHP驱动。 与ETEL的许多其它模块一样（ZT，Z3TH，RTTB），DXR+可安装在所有标准XY平台上。DXR+是单自由度模块，支持任意的角度运动。但可选配一定的角度运动范围，大约60°为一个单位。在一定条件下，DXR+的洁净度可从ISO 5至ISO 1。 DXR+模块是满足以下应用要求的理想选择： - 运动的平稳性 - 中等精度要求（典型的跳动值大约为5 µm） - 位置稳定性在100 nm范围内，半径150 mm时 该模块适用于，但不限于： - 圆晶工序控制，圆晶切片 - 圆晶划线 - 激光热处理 - 光伏电池生产 - 等