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晶圆控制模块 VULCANO XYZ3TH6轴
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产品规格型号
- 技术参数
- 晶圆, 6轴
产品介绍
武尔卡诺岛XYZ3TH平台组成标准武尔卡诺岛X - Y装备以Z3TH联合的模块。这4个自由程度模块，为卸载的薄酥饼提供364°希腊字母的第八字自转，双重Z轴，一粗糙一个装载和和一美好一个焦点调整，以及技巧的并且掀动±0.1°多的更正。
特征
- 紧凑脚印
- 毫微米位置稳定
- 高动力学：2.5 g，1.5 m/s
- 低移动和结算时间
- ISO1适合的洁净室
- ±0.1°多技巧掀动的更正
- 双重Z综合化
- 在Z的固定重力补偿器
- 卓著的Z平直度
- 改进的Z反复性和焦虑
- 能力改正阶段扁平
- 在牛颈肉水平的固定真空供应
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展厅
该卖家将出席以下展会
