旋转位移台 ABRT series

机动单轴高精度

我们的ABRT系列气浮旋转平台具有卓越的角度定位、速度稳定性和误差运动性能，同时还具有强大的有效载荷能力和出色的径向和轴向刚度。ABRT的设计可满足晶圆检测、高精度计量应用、X射线衍射系统、光学检测和制造以及MEMS/纳米技术设备制造的严格要求。 -零齿槽电机，速度稳定性出色 -出色的误差运动和摆动性能 -直接耦合的高精度旋转编码器 -大直径透明孔径 -无机械接触 卓越的机械设计 ABRT的设计特点是大气浮表面和创新的预载，具有高刚度和高承载能力，不仅能产生出色的轴向和径向误差运动，还能产生出色的倾斜误差运动。其性能明显优于其他旋转气浮工作台和主轴，极大地满足了对平面性能要求极高的应用。此外，该系列工作台还提供透明孔，可用于产品进给、激光束传输、电缆间隙或特定应用要求。