线性纳米定位平台 ANT95-L-Z seriesZ轴单轴交叉滚子
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产品规格型号
- 方向定位
- 线性, Z轴
- 轴数量
- 单轴
- 其他特性
- 精准, 铝制, 高速, 交叉滚子
- 运行行程
25 mm, 50 mm
(0.984 in, 1.969 in)- 速度
0.2 m/s
(0.66 ft/s)- 重复精度
75 nm
- 载荷
5 kg
(11.02 lb)
产品介绍
我们的第二代ANT95LZ平台专门设计用于在垂直方向上提供纳米级运动和定位性能。用户可调节的超低摩擦气动平衡使其在分辨率、精度、可重复性、尺寸和可靠性方面成为同类产品中的佼佼者。ANT95LZ平台具有出色的动态性能和更强的承载能力，是您需要卓越的垂直运动时的最佳选择。
-增强型第二代设计
-实现最小增量运动至1 nm。
-在最长50 mm的移动长度上实现纳米级定位性能
-通过用户可调的超低摩擦平衡，在垂直方向实现精确定位，有效载荷可达5公斤
-采用高精度交叉滚柱轴承，具有优异的动态性能和较大的负载能力
-采用无铁直接驱动直线电机，最大限度地提高了工艺产量和可靠性
ANT95LZ是要求高精度和动态定位性能的多轴应用的理想选择，包括
-光学装配和检测
-光纤对准和优化
-光学制造、测试和检验
-传感器测试与鉴定
-半导体加工和检测
-研究与实验室应用
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