平动位移台 ANT95V-3

立式机动单轴

ANT95V-3是线性电机驱动的楔形垂直升降平台。它可以方便地与包括ANT95系列在内的其他平台集成，实现卓越的多轴性能，并提供两种精度等级。 -高分辨率(1 nm)、重复精度(100 nm)和准确度(200 nm) -位置稳定性<1 nm -交叉滚柱轴承抗蠕变 -高动态性能 ANT95V-3系列保留了原ANT系列直接驱动的所有优点。只有非接触式直驱技术才能实现精密仪器批量生产所需的坚固、精确和高速定位。ANT95V-3平台采用了Aerotech首创的先进直驱技术, 实现了最高水平的定位性能.这种直接驱动技术是高性能, 无齿槽, 非接触, 高速, 高分辨率和高精度.这种独特的驱动和轴承组合, 封装在一个极小的外形和占地面积内, 在许多应用中提供了实实在在的优势, 例如高精度定位, 磁盘驱动器制造, 光纤对准, 光学延迟元件驱动, 传感器测试和需要平滑和精确运动的扫描过程.