ANT130LZS平台具有超低的外形尺寸,代表了垂直运动性能的最高水平。 ANT130LZS平台采用双侧装气动平衡,摩擦系数极低,集精度、可重复性、速度和可靠性于一身。ANT130LZS平台具有出色的动态性能和强大的承载能力,当您需要在紧凑的结构中实现卓越的垂直运动时,ANT130LZS平台是您的理想选择。
-增强型第二代设计
-实现最小增量运动至1 nm - 新产品
-在最长160 mm的行程内实现纳米级定位性能
-提供超低剖面,双侧安装的平衡器能够抵消高达14公斤的有效载荷,实现垂直方向的超精密性能
-采用高精度交叉滚柱轴承,具有优异的动态性能和足够的承载能力
-采用无铁直接驱动直线电机,最大限度地提高了工艺产量和可靠性
-可轻松集成到多轴运动系统中
ANT130LZS平台是高精度和高动态垂直定位应用的理想选择,具有最小的占地面积要求,包括
-光学装配与检测
-光纤对准和优化
-光学制造、测试和检验
-传感器测试和鉴定
-半导体加工和检测
-研究与实验室应用
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