平面式位移台 ANT130LZS series
Z轴机动多轴

平面式位移台
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产品规格型号

方向定位
Z轴
类型
机动
轴数量
多轴
其他特性
精准, 紧凑型, 平面式, 滚珠丝杠, 交叉滚子
运行行程

35 mm, 60 mm, 110 mm, 160 mm
(1.378 in, 4.331 in, 6.299 in)

速度

145 mm/s, 200 mm/s

重复精度

75 nm

载荷

14 kg
(30.86 lb)

产品介绍

ANT130LZS平台具有超低的外形尺寸,代表了垂直运动性能的最高水平。 ANT130LZS平台采用双侧装气动平衡,摩擦系数极低,集精度、可重复性、速度和可靠性于一身。ANT130LZS平台具有出色的动态性能和强大的承载能力,当您需要在紧凑的结构中实现卓越的垂直运动时,ANT130LZS平台是您的理想选择。 -增强型第二代设计 -实现最小增量运动至1 nm - 新产品 -在最长160 mm的行程内实现纳米级定位性能 -提供超低剖面,双侧安装的平衡器能够抵消高达14公斤的有效载荷,实现垂直方向的超精密性能 -采用高精度交叉滚柱轴承,具有优异的动态性能和足够的承载能力 -采用无铁直接驱动直线电机,最大限度地提高了工艺产量和可靠性 -可轻松集成到多轴运动系统中 ANT130LZS平台是高精度和高动态垂直定位应用的理想选择,具有最小的占地面积要求,包括 -光学装配与检测 -光纤对准和优化 -光学制造、测试和检验 -传感器测试和鉴定 -半导体加工和检测 -研究与实验室应用

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