平动位移台 MPS-SV series
立式旋转多轴

平动位移台
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产品规格型号

方向定位
平动, 立式, 旋转
轴数量
多轴
其他特性
精准, 紧凑型, 滚珠丝杠, 交叉滚子
运行行程

5 mm
(0.197 in)

速度

最少: 0.1 mm/s

最多: 5.5 mm/s

重复精度

0.75 µm, 1.5 µm

载荷

6 kg, 12 kg
(13.23 lb, 26.46 lb)

产品介绍

我们的MPS-SV系列升降平台设计紧凑、性价比高,可提供高性能的升降运动。这些升降平台有两种尺寸(MPS50SV和MPS75SV),非常适合从轻负载实验室研究到高负载循环生产工艺的各种应用。多轴平台配置可以使用MPS全系列固有的适配器支架和安装兼容性与其他MPS线性平台和旋转平台轻松组装。 -直流电机或步进电机可选 -高真空能力 -精密交叉滚子轴承 -可与MPS直线运动平台和旋转运动平台进行多轴配置。 所有MPS-SV平台均采用精密研磨滚珠丝杠和预载交叉滚柱轴承,具有平滑精确的几何性能、优异的精度和重复性以及0.05微米的最小增量运动能力。MPS50SV还提供丝杠驱动选项,适用于对成本更敏感的应用。 MPS-SV电机选项包括带旋转编码器的直流伺服电机和步进电机。精密加工的楔形设计和横向约束系统提供了高刚度和负载能力,同时对横向运动提供了适当的约束。

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* 显示价格为参考价,此价格不含税、不含运费、不含关税,也不包含因安装或投入使用所产生的其他额外费用。参考价格可能因国家、原材料价格和汇率的不同而产生变化。