STEINMEYER无菌室定位系统

重复精度: 1 µm
载荷: 15 kg
运行行程: 200 mm - 1,000 mm

... FMC系列，ACS，PLC集成 定制的选项： - 过程适应性，样品架，头/传感器 - 适用于洁净室ISO 14644-1的版本（根据要求可达到1级）。 - 机架、振动隔离、外壳、安全概念 - 扩展XYZ-Rx-Ry-Rz运动的自由度 - 通过三维设计为定位任务寻找个性化解决方案 ...

重复精度: 0.3 µm - 2.5 µm
载荷: 5 kg - 20 kg
运行行程: 100 mm - 720 mm

... 用于半导体的XYZ双检测门户 可定制的 - 是自动检测晶圆/半导体的理想选择 - 非常大的移动范围，每个都是2 x 720 x 720 x 100 mm - 允许同时整合两个过程 该检测系统由四个洁净室轴组成，可同时对多个物体进行自动测量。实现了高动态性和最高的可重复性。每侧有一个高分辨率的相机或传感器相对于样品移动，以检查几何形状，进行测量并记录特殊的质量特征。 规格 - 行程：2 x 720 x 720 x 100 mm - ...

重复精度: 1.9 µm - 4.4 µm
载荷: 50 kg
运行行程: 100 mm - 1,000 mm

... 次全循环的维护间隔（每两年一次 该定位系统可在 1000 x 1000 mm 的范围内移动真空吸盘。标准系统 PMT160-SM 固定在横向轴上，用于客户定制的传感器，该传感器用于焦距变化。轴是全封闭的，可防止污染和干扰。 规格 - 标准系统：PLT320-SM（XY）/PMT160-SM（Z） - 行程：1000 毫米（XY）/ ...

重复精度: 0.4 µm - 0.8 µm
运行行程: 100 mm - 300 mm
传送速度: 80 mm/s - 630 mm/s

... 无尘室兼容，耐用性高，维护周期长 这种结构紧凑的高动态三轴系统专为精细基材的三维打印而设计。Z 轴上的定制打印头在基材上移动速度极快。Z 轴上的定制打印头在基质上移动速度极快，由于行程大，可达 300 毫米，因此可实现高打印量。 规格 - 行程：300 毫米（X）/200 毫米（Y）/100 毫米（Z，Z1-5） - 重复性：± 0.4 - ± 0.5 µm (XY) / ± 0.5 - ± 0.8 µm (Z, Z1-5) - ...

重复精度: 10 µm
载荷: 830 g
运行行程: 14 mm

... 个以上的执行器集成到一个总线系统中，易于扩展 - 对整个运动进行连续控制，重复精度可达 0.03 - 使用寿命长，通过即插即用功能实现额外的快速维护 有了 Z-Phi 定位器，就能以高度紧凑的方式将精确的线性和旋转运动结合起来。运动既可以同步编程，也可以完全独立编程。带现场总线接口的运动控制器即插即用，直接集成在定位装置中。 规格 - 行程：14 mm (Z) ...

重复精度: 0.001 µm - 3.5 µm
载荷: 6.5 kg
运行行程: 4 mm - 20 mm

... XYZ-Theta-Phi-Delta 定位系统（ISO 5 级无尘室） 可定制： - 自动检测晶圆和光学器件的理想选择，检测范围可达 300 毫米/12 英寸 - 重复精度高达 ± 2.5 µm 或 ± 0.005° - 出色的精度、刚性和紧凑性，尺寸为 520 x 600 x 155 毫米 - 设计用于三班制操作，洁净室等级可达 ISO 5 6 轴机械手包括一个水平轴 XY 平台和一个用于垂直行程和两次倾斜的三脚架，在一个系统中结合了笛卡尔运动设计和平行运动设计的优点。 规格 - ...