STEINMEYER样本制备定位系统

重复精度: 1 µm
载荷: 15 kg
运行行程: 200 mm - 1,000 mm

... FMC系列，ACS，PLC集成 定制的选项： - 过程适应性，样品架，头/传感器 - 适用于洁净室ISO 14644-1的版本（根据要求可达到1级）。 - 机架、振动隔离、外壳、安全概念 - 扩展XYZ-Rx-Ry-Rz运动的自由度 - 通过三维设计为定位任务寻找个性化解决方案 ...

重复精度: 0.3 µm - 2.5 µm
载荷: 5 kg - 20 kg
运行行程: 100 mm - 720 mm

... 用于半导体的XYZ双检测门户 可定制的 - 是自动检测晶圆/半导体的理想选择 - 非常大的移动范围，每个都是2 x 720 x 720 x 100 mm - 允许同时整合两个过程 该检测系统由四个洁净室轴组成，可同时对多个物体进行自动测量。实现了高动态性和最高的可重复性。每侧有一个高分辨率的相机或传感器相对于样品移动，以检查几何形状，进行测量并记录特殊的质量特征。 规格 - 行程：2 x 720 x 720 x 100 mm - ...

重复精度: 0.4 µm - 0.8 µm
运行行程: 100 mm - 300 mm
传送速度: 80 mm/s - 630 mm/s

... 无尘室兼容，耐用性高，维护周期长 这种结构紧凑的高动态三轴系统专为精细基材的三维打印而设计。Z 轴上的定制打印头在基材上移动速度极快。Z 轴上的定制打印头在基质上移动速度极快，由于行程大，可达 300 毫米，因此可实现高打印量。 规格 - 行程：300 毫米（X）/200 毫米（Y）/100 毫米（Z，Z1-5） - 重复性：± 0.4 - ± 0.5 µm (XY) / ± 0.5 - ± 0.8 µm (Z, Z1-5) - ...

重复精度: 0.4, 0.7 µm
载荷: 28, 10, 0.5 kg
运行行程: 3, 5 mm

... ± 3°的旋转运动。运动 R (Phi) 是 XY 轴组合的结果。 规格 - 行程：± 5 毫米（XY）/± 3 毫米（Rz） - 重复性：± 0.4 - ± 0.7 µm (XY) / ± 0.0002 - ± 0.0003 µm (Rz) - 定位速度：50 - 100 mm/s (XY) / 10 - 20 mm/s (Rz) - 最大负载5 N (XY) / 100 N (Rz) - 孔径： 730 x 730 毫米 - ...

重复精度: 0.2 µm - 0.3 µm
载荷: 500 g
运行行程: 10 mm

... MP53-3 微型 XYZ 定位系统 可定制： - 紧凑型应用的理想选择 - 分辨率在亚微米范围内 - 负载能力高达 5 N - 高精度定位，质量可靠稳定 MP53 定位系统是用于 X、Y 和 Z 轴运动的小型化三轴系统，行程范围为 10 毫米。对准器采用压电电机设计，定位增量可达几个纳米。 规格 - ...

重复精度: 0.8 µm - 3.8 µm
载荷: 1 kg
运行行程: 25 mm - 25 mm

... MP210-3 XYZ 定位系统 可定制： - 适用于有限的安装空间和 0 - 40°C 的温度波动范围 - 在最小空间内移动范围可达 25 毫米 - 位置绝对稳定，即使在电机关闭时也是如此 - 高重复精度带来稳定的测量结果 该 XYZ 系统可以定位样品支架，进行高度稳定的双面入射光和透射光测量。通过 25 毫米行程的垂直移动实现装载和聚焦。 规格 - ...