Physik Instrumente/德国PI高精度位移台

运行行程: 50 µm - 240 µm
重复精度: 5, 10 nm

... 大孔径的高动态性能 - 平行运动学，响应时间更快，多轴 精度更高 - 零间隙、 高精度的挠性导轨系统 - PICMA®压电推杆带来的出色使用寿命 - 清晰的孔径66毫米×66毫米 - 由于电容式传感器而具有最高的线性度 - 计量学 - 干涉测量 - 光子学/集成光学 - 光刻技术 - 纳米定位 - 扫描显微镜 - 样品对准 - 微机械加工 电容式传感器的亚纳米级分辨率 电容式传感器以亚纳米的分辨率进行测量，无需接触。它们保证了出色的运动线性度、长期稳定性和kHz范围内的带宽。 自动配置和快速组件交换 ...

运行行程: 100, 400, 800 µm
重复精度: 50, 10 nm

... 执行器的使用寿命是传统聚合物绝缘执行器的 10 倍。经证实，1,000 亿次循环无一故障。 电容式传感器的亚纳米分辨率 电容式传感器以亚纳米分辨率进行测量，无需接触。电容式传感器可确保出色的线性运动、长期稳定性以及千赫兹范围内的带宽。 零间隙挠性导轨实现高导向 精度 挠性导轨无需维护、摩擦和磨损，也无需润滑。它们的刚度允许高负载能力，对冲击和振动不敏感。工作温度范围广。 ...

运行行程: 22 mm
速度: 0.2 m/s
重复精度: 0.2 µm

... 的高频交流电压激励下产生超声波振荡。致动器的变形导致耦合元件相对于转轮的周期性对角运动。每周期产生的进给量为几纳米；高频率导致高速度。压电陶瓷致动器对转轮的预紧确保了驱动装置在静止和关闭时的自锁。 利用增量式线性编码器进行 高精 度位置测量 非接触式光学编码器可直接在平台上测量位置， 精度极高。非线性、机械间隙或弹性变形对测量没有影响。 ...

... 可提供真空兼容型 基准级旋转平台 采用低游隙预载蜗轮，实现 高精度定位。预载枢轴轴承实现高跳动 精度。35 mm 直径的透明孔。 两个旋转方向的行程范围不受限制。非接触式基准开关。可与 L-511 线性平台和 L-310 Z 平台配合使用的紧凑型多轴定位系统。可根据要求提供真空兼容型产品。 型号 低振动步进电机 带 ActiveDrive 的直流电机 直流伺服电机 无刷直流电机 附加高分辨率光学角度测量系统，直接测量 选项：测量跳动 精度和定位 精度 可根据要求提供摇摆、轴向和径向蠕变的单独测量记录。请在订购时说明 ...

运行行程: 400, 50, 200, 300, 100 mm
速度: 1, 0.5 m/s
重复精度: 0.1 µm

... - 扫描应用或 高精度定位的理想之选 - 与无尘室兼容 - 运动平台尺寸 160 mm × 200 mm - 负载能力达 100 N PIglide 定位系统配有磁性直线电机、磁性预载空气轴承和光学直线光栅：无接触、无摩擦运动，实现最 高精度和可靠性 附件和选件 - 编码器 - PIglide 过滤器和空气准备套件 - 单轴和多轴运动控制器 - XY 设置和单独配置 - 花岗岩底板和减震系统 应用领域 PIglide 定位系统非常适合许多 高精度应用，如计量学、光电子学和半导体或平板显示器制造中的精密扫描 ...

运行行程: 50 mm - 350 mm
速度: 1 m/s
重复精度: 0.25 µm

... - 扫描应用或 高精度定位的理想之选 - 与无尘室兼容 - 运动平台尺寸 115 毫米 × 115 毫米 - 外形小巧，60 毫米起 - 分辨率达 1 纳米 产品概览 PIglide 平台配备带预载空气轴承的伺服驱动直线电机和集成式直线光栅。这些非接触式组件的组合形成了一个无摩擦运动平台，具有最高的性能、质量和使用寿命。 高力线性电机可在几毫秒内将平台驱动到最高速度。预载空气轴承结构支持任何方向的安装。 附件和选件 编码器 PIglide 过滤器和空气准备套件 多轴运动控制器和直接驱动装置 ...

运行行程: 5, 2.5 mm
速度: 200 mm/s
重复精度: 0.25 mm

... 该平台设计为平行运动多轴系统，可用于 Z 和尖端/倾斜运动。该平台采用微型结构，具有超 高精度。非接触式组件的组合造就了一个无摩擦运动平台，具有一流的性能、质量和使用寿命。 在订购 A-523 和 A-81x 或 A-82x 系列控制器的同时，PI 还会对 Z 平台进行配置和布线，并在施加负载的情况下进行伺服调整优化。您将获得一个完整的、随时可用的定位系统。 附件和选件 空气过滤器套件 应用领域 Z 型尖端/倾斜平台非常适合 高精度应用，例如晶片检测、光纤定位、光学器件定位、平面屏幕检测、无掩模光刻和超 ...