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... 成像型探头与探测选项具低探测误差，适合微小特征
测量（P_FV2D,MPE 0.3 µm；P_F2D,MPE 0.8 µm）。
核心功能
- 通过多种高NA光学实现不同放大倍数下的高精度、高速度尺寸测量。
- 多样化照明策略与专用选件，提升难测边缘和复杂特征的测量可靠性。
- 提供黑白/彩色1/3" CMOS相机与无缝光学变焦，支持检査流程中的观察与测量转换。
- 兼容Nikon测量软件及可选SDK，支持自动化与数据管理
Nikon Metrology
... iNEXIV VMA系列具有大视场、长工作距离和宽XYZ行程，为各种3D部件的自动 测量提供超强适用性。 通过宽视场进行各种 测量应用 iNEXIV VMA系列提供3大类机型，带有宽视场光学器件和接触式探头接口，是使用视觉和接触式 测量的各种工业 测量、检查和质量控制应用的理想选择。 长工作距离 73.5 mm长工作距离。最适用于高度变化大、凸台高、细孔、深孔等的深度 测量。 接触式 测量（选配） 能够 测量不可见特征的尺寸和角度，例如零件侧面的孔。 ...
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... 技术已在全球汽车检测中得到应用，能够提供绝对值、快速且精确的
测量，适用于车间环境和移动产线应用。
集成、自动化、灵活
典型配置采用三台 Laser Radar 覆盖较大
测量体积。
测量与输送线/车辆运动同步，
系统可配置以适应不同车型与车身变体。
大距离测量与安全操作
采用单一线性运动在较大
测量距离完成
测量，最大限度减少与车体碰撞风险，确保操作人员安全。
产品亮点
- 简化安装：较大测量距离与直线导轨减少编程与安装复杂度
Nikon Metrology
... 提供了迄今为止所有激光雷达中最快的特征 测量，可以在生产线的时间内对关键特征进行检测，或者采用抽样策略在一组车体上覆盖更多的特征，实现真正的过程控制。 与CAD的直接比较 在全自动机器人 测量解决方案中使用APDIS 系统，为白车身（BIW）检测引入了一种创新方法。 独立于机器人的精度 机器人定位激光雷达以提供所需特征的视线。然后，激光雷达通过 测量夹具上的工装球，自动重新定位到零件上。 提高检测效率 APDIS激光雷达解决方案的 测量速度是传统CMM的6倍以上，可以大大增加 测量产量。 随着白车身检测向质量4.0 ...
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... 是一款将影像
测量
系统 NEXIV 与晶圆加载器 NWL200 集成的自动晶圆
测量
系统。通过先进的图像处理技术，可对载具中装载的 6 英寸和 8 英寸晶圆进行自动、高速且高精度的
测量，并提供适用于半导体工艺控制的
测量数据。
可靠性、效率与可操作性
- 高可靠性：全自动、可重复的测量流程可减少操作人员差异导致的波动；先进光学提供清晰图像以准确检测边缘。
- 高效率：一键启动检测；测量产能显著高于传统测量显微镜，从而降低使用成本
Nikon Metrology
... 典型使用案例
- 探针卡检测：在单一视野内实现 2D/高度同时采集，提升吞吐并支持长尺寸测量。
- 晶圆检测与 WLP：45× 物镜支持超微小特征量测；共焦系统适应反射与透明层测高。
- 基板生产与精密 QA：对薄膜/透明材料实现可靠测量，并可进行长尺寸的坐标测量。
光学与测量说明
该 系统在单一 测量流程中结合了明场 ...
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... iNEXIV VMA系列具有大视场、长工作距离和宽XYZ行程，为各种3D部件的自动 测量提供超强适用性。 通过宽视场进行各种 测量应用 iNEXIV VMA系列提供3大类机型，带有宽视场光学器件和接触式探头接口，是使用视觉和接触式 测量的各种工业 测量、检查和质量控制应用的理想选择。 长工作距离 73.5 mm长工作距离。最适用于高度变化大、凸台高、细孔、深孔等的深度 测量。 接触式 测量（选配） 能够 测量不可见特征的尺寸和角度，例如零件侧面的孔。 ...
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... iNEXIV VMA系列具有大视场、长工作距离和宽XYZ行程，为各种3D部件的自动 测量提供超强适用性。 通过宽视场进行各种 测量应用 iNEXIV VMA系列提供3大类机型，带有宽视场光学器件和接触式探头接口，是使用视觉和接触式 测量的各种工业 测量、检查和质量控制应用的理想选择。 长工作距离 73.5 mm长工作距离。最适用于高度变化大、凸台高、细孔、深孔等的深度 测量。 接触式 测量（选配） 能够 测量不可见特征的尺寸和角度，例如零件侧面的孔。 ...
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