临界尺寸测量系统 NEXIV VMZ-S

视场（FOV）距离坐标

产品概述
Nikon的NEXIV VMZ‑S系列为工业微米级检测提供视频测量解决方案。系列包含VMZ‑S3020、VMZ‑S4540、VMZ‑S6555三种量程机型，提供6种光学变焦/镜头类型，并标配TTL（透镜内）扫描激光自动对焦。

速度与精度

• TTL扫描激光AF支持高达1000点/秒的快速高度扫描，用于快速表面轮廓采集。
• 最小读数0.01 µm，激光AF重复性2σ ≤ 0.5 µm，满足可追溯的尺寸测量需求。
• 适用于连续检验流程，自动测量对工件定位变化具有良好容错性。

产品亮点

• 6种光学类型（Type 1、2、3、4、TZ、A），覆盖不同视场与放大倍数；Type 1–3注重低畸变与高数值孔径，Type 4与TZ支持高倍率。
• 8分段环形照明并具多入射角（白色LED），提升边缘捕获能力；按类型提供垂直落射、透射、暗场等配置。
• 支持通过TTL激光AF检测约0.1 mm的透明薄层（Type A不适用）。
• 成像型探头与探测选项具低探测误差，适合微小特征测量（P_FV2D,MPE 0.3 µm；P_F2D,MPE 0.8 µm）。

核心功能

• 通过多种高NA光学实现不同放大倍数下的高精度、高速度尺寸测量。
• 多样化照明策略与专用选件，提升难测边缘和复杂特征的测量可靠性。
• 提供黑白/彩色1/3" CMOS相机与无缝光学变焦，支持检査流程中的观察与测量转换。
• 兼容Nikon测量软件及可选SDK，支持自动化与数据管理。

规格（摘要）
型号 | VMZ‑S3020 | VMZ‑S4540 | VMZ‑S6555
XYZ行程 | 300 × 200 × 200 mm（TZ低倍物镜：250 × 200 × 200 mm） | 450 × 400 × 200 mm（TZ低倍物镜：400 × 400 × 200 mm） | 650 × 550 × 200 mm（TZ低倍物镜：600 × 550 × 200 mm）
最小读数 | 0.01 µm（所有机型）
最大工件重量 | 20 kg（精度保证：5 kg） | 40 kg（精度保证：20 kg） | 50 kg（精度保证：30 kg）
最大允许误差（MPE） | EUX/EUY, MPE = 1.2 + 4L/1000 µm；EUXY, MPE = 2.0 + 4L/1000 µm；EUZ, MPE = 1.2 + 5L/1000 µm
探测误差 | P_F2D,MPE = 0.8 µm；P_FV2D,MPE = 0.3 µm
相机 | 黑白 / 彩色 1/3" CMOS
工作距离 | Type 1/2/3: 50 mm；Type 4: 30 mm；Type TZ:（高倍）11 mm /（低倍）32 mm；Type A: 73.5 mm（激光AF时63 mm）
激光AF重复性 | 2σ ≤ 0.5 µm
照明 | 反射、透射、8分段环形多角度白色LED；Type TZ/Type A等有特定配置
电源 / 功耗 | AC100–240 V, 50/60 Hz / 2–4 A
外形尺寸与重量 | 各机型主机与控制器尺寸/重量详见型号条目。

技术规格

• 系列：NEXIV VMZ‑S（VMZ‑S3020、VMZ‑S4540、VMZ‑S6555）。
• 最小读数：0.01 µm。
• TTL扫描激光AF：最大1000点/秒；重复性2σ ≤ 0.5 µm。
• 探测精度：P_FV2D,MPE 0.3 µm；P_F2D,MPE 0.8 µm。
• 照明：反射、透射、环形分段照明及暗场选项。
• 相机：1/3" CMOS（黑白/彩色）。
• 电源：AC100–240 V, 50/60 Hz。
• 安装占地与质量因机型不同；安装前请参考机型规格。