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... 光学临界尺寸（CD）和形状量测系统 SpectraShape™11k尺寸量测系统用于全面表征和监控finFET的关键尺寸（CD）及其三维形状、垂直堆叠的NAND和DRAM结构以及前沿设计节点上集成电路的其他复杂功能。利用光学技术和专利算法的先进性突破，SpectraShape 11k可以识别关键器件的参数（关键尺寸、高k和金属栅极凹槽、侧壁角度、光刻胶高度、硬掩模高度、间距偏移）的细微变化。SpectraShape 11k配备了经过改进的工作台和全新的测量模块，可实现高产量运转，能够在线快速识别制程中的问题，从而帮助晶圆厂加快产量提升并实现稳定的生产。 主要应用 在线制程监测，图形控制，制程窗口扩展，制程窗口控制，高级制程控制（APC），工程分析 相关产品 AcuShape®：先进的建模软件，解析来自SpectraShape系统的信号，从而有助于加快构建强大的3D形状模型的过程。 SpectraShape ...
... 产品概述
Nikon的NEXIV VMZ‑S系列为工业微米级检测提供视频测量解决方案。系列包含VMZ‑S3020、VMZ‑S4540、VMZ‑S6555三种量程机型，提供6种光学变焦/镜头类型，并标配TTL（透镜内）扫描激光自动对焦。
速度与精度
- TTL扫描激光AF支持高达1000点/秒的快速高度扫描，用于快速表面轮廓采集。
- 最小读数0.01 µm，激光AF重复性2σ ≤ 0.5 µm，满足可追溯的尺寸测量需求。
- 适用于连续检验流程，自动测量对工件定位变化具有良好容错性。
产品亮点
- 6种光学类型（Type
Nikon Metrology
... 光截面测量仪，用于测量 各种冷轧型材 的轮廓和尺寸 特点 实时监控整个轮廓 通过4至6个摄像头进行测量 专门用于测量圆形产品的圆度和多边度的特殊模式 高精度测量 及早发现工艺流程中的问题 维护保养迅速，清洁工作简单 可记录所有生产数据，以便QC部门进行质量控制 可与上级系统联网 无需后续进行手动测量. 优势 • 启动迅速 • 改善流程控制，由此提高了Cpk • 节约材料并降低成本 • 产品质量改善 • 可以快速、简便地安装到现有生产线中 • 系统可以方便地整合到现有网络中 应用范围 Profilemaster ...
... 光截面测量仪，用于测量 热轧和冷轧领域内 各种型材的轮廓和尺寸 采样率最高可达 2 kHz 特点 实时监控整个轮廓 无需后续进行手动测量 通过4至8个摄像头进行测量 专门用于测量圆形产品的圆度和多边度的特殊模式 适用于严苛的热轧条件 在高达1200°C的严苛热轧条件下仍能可靠运行 可记录所有生产数据，以便QC部门进行质量控制 可与上级系统联网 优势 • 采样率最高可达 2 kHz • 测量系统温度稳定，可确保最高的测量精度 • 极高的扫描速率，保证识别形状缺陷 ...
... 光截面测量仪，用于测量 热轧和冷轧领域内 各种型材的轮廓和尺寸 特点 实时监控整个轮廓 无需后续进行手动测量 通过4至8个摄像头进行测量 专门用于测量圆形产品的圆度和多边度的特殊模式 适用于严苛的热轧条件 在高达1200°C的严苛热轧条件下仍能可靠运行 可记录所有生产数据，以便QC部门进行质量控制 可与上级系统联网 优势 • 测量系统温度稳定，可确保最高的测量精度 • 极高的扫描速率，保证识别形状缺陷 (SFD) • 高精度测量 • 及早发现工艺流程中的问题 • ...
... Coord3 CNC坐标测量机采用多传感器、点对点或扫描技术，用途广泛，可在实验室和生产中实现更快、更精确的三维控制。 通用系列可以控制超大型工件。 基准 / Ares / Universal / Kronos XY 方向（毫米）：500 x 400 à 4000 x 2000 Z 轴（毫米）：440 à 1500 可提供更大尺寸的机床 ...
... 高速、非接触式测量和检测平台，比传统的三坐标测量机更快地处理复杂的几何形状。 提高精度 ZeroTouch采用独特的5轴结构和一流的传感器，提高了测量质量。 提高吞吐量 ZeroTouch可在几分钟内捕捉复杂的尺寸测量。 垫资生产 ZeroTouch可同时快速执行多项测量。 ZeroTouch是一个强大的非接触式测量平台，它可以快速捕捉数百万个数据点，创建一个高精度的3D点云，从而实现对复杂零件几何形状的快速测量，并以低GRR对最复杂的零件进行精确检测。 最小化堆栈误差 ZeroTouch独特的平面空气轴承设计将公差堆叠误差降至最低。通过为精密级提供极其平滑的高速运动，这种近乎零摩擦的设计确保了更稳定的性能，最大限度地减少了机械磨损，提高了GRR。 高级分析集成 通过业界公认的分析软件，可以通过比较点云扫描与标称CAD模型和GD&T控制来分析零件。统计过程控制(SPC)数据可以驱动警告，以降低变异性和废品率。 图形化零件检测规划 图形化、菜单驱动的零件检测计划工具，消除了对专业编程的需求。通过从MES中调用程序或通过可选的条码阅读器，可以轻松启动计划。 特点和优势 - ...
DWFRITZ Metrology
... 套刻对准是将工艺上下层对准的过程，套刻误差定义为两层之间的偏移。套刻误差测量通常是指对两层不同材料的不同套刻标记，通过图像、算法处理获得两层之间偏移值的过程。 针对测量套刻误差，天准半导体测量设备支持测量Box-in-Box, Frame-in-Frame, L-Bars, Circle-in-Circle, Cross-in-Cross 或定制开发其他的结构。 光学测量是一种非接離式、非破坏性的测量技术，精确且快速，可通过CCD图像提取结构强度信思来计算宽度。强度图必须要进行额外处理，以使其免受噪声或变形的干扰。 天准半导体测量设备己具备消除这类干扰的功能，对低于0．7的特征结构，系统支持使用UV光测量 测量设备拥有定期自动校准功能，支持测量透明和半透明的介质膜，最可测量三层膜。 主要特点 •支持测量关尺寸、套刻 •支持定制佣、SMIF, ...
TZTEK Technology Co.,ltd
... M 系列半自动视频测量系统 具有自动对焦功能，让您的操作更轻松 Z 轴：自动/HIWIN 线性导轨 特点 Z 轴：自动；镜头：自动变焦。 高精度花岗岩底座、立柱，确保高稳定性和刚性。 成像仪测量仪软件，功能强大，测量方便。 多种数据处理、显示、输入、输出功能。 软件辅助调光，让用户了解光源是否过饱和。 底部光源灯使成像效果更清晰。 规格 - 测量范围（毫米）（X-Y-Z） ：300x200x200 图像和测量 - CCD : 彩色摄像机 - 镜头：0.7X-4.5X 自动变焦镜头 - 软件 ...
... 该机器设计用于在钢制轮辋与圆盘组装前，特别是在成型线上进行加工，以检查轮辋在成型过程的不同阶段的尺寸一致性。 进行的测试 - 测量 ...