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... Tencor P-7探针式 轮廓仪以成功领先市场的Tencor P-17台式探针式 轮廓仪系统为基础。它涵盖了P-17的卓越 测量性能，为台式探针式 轮廓仪提供了出色的性价比。Tencor P-7探针式 轮廓仪支持对台阶高度、粗糙度、翘曲度和应力进行2D和3D 测量，扫描范围可达150mm，无需拼接。 特征 台阶高度：纳米级到1000微米 恒定力控制：0.03至15mg 样品的全直径扫描，无需拼接 视频：5MP高分辨率彩色相机 弧形校正：可消除探针的弧形运动引起的误差 软件：简单易用的软件界面 ...
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... P-17是第八代台式探针式 轮廓仪，它凝结了逾40年的表面量测经验。该行业领先的系统支持对台阶高度、粗糙度、翘曲度和应力进行二维(2D)和三维(3D) 测量，扫描范围可达200mm，无需拼接。 出色的 测量稳定性通过结合UltraLite® 传感器、恒力控制和超平扫描样品台实现。通过使用点击式样品台控制、顶视和侧视光学元件以及具有光学变焦功能的高分辨率相机，可快速轻松地设置程式。Tencor P-17探针式 轮廓仪支持2D或3D 测量，可使用多种滤波、调平和分析算法来 测量表面形貌。通过图形识别、序列和特征检测实现全自动测量 ...
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... Tencor P-170是一款自动化 轮廓仪，具有行业领先的P-17的台式系统 测量性能和经HRP®-260生产验证的机械手臂。这种组合为半导体、化合物半导体和相关行业提供了一种拥有基于机械手臂系统的低成本解决方案。Tencor P-170支持对台阶高度、粗糙度、翘曲度和应力进行2D和3D 测量，扫描范围可达200毫米且无需拼接。 通过结合UltraLite®传感器、恒力控制和超平扫描样品台，可实现出色的 测量稳定性。使用点击式样品台控制、顶视和侧视光学元件以及具有光学变焦功能的高分辨率相机，可快速轻松地设置程式 ...
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... 是一款高分辨率cassette-to-cassette探针式 轮廓仪。HRP的性能经过生产验证，能够进行自动化晶圆装卸、可为半导体、化合物半导体、高亮度LED、数据存储和相关行业提供服务。P-260配置支持台阶高度、粗糙度、翘曲度和应力的二维及三维 测量，其扫描深度可达200mm而无需图像拼接。 HRP-260配置的功能与P-260相同，并增加了能够对小特征进行高分辨率和高产量 测量的高分辨率平台。 HRP-260的双平台功能可以进行纳米和微米表面形貌的 测量。 ...
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... 无限远焦距图像。其他3D 测量技术包括白光干涉 测量、Nomarski干涉对比显微镜和剪切干涉 测量。ZDot或集成宽带反射计都可以对薄膜厚度进行 测量。Zeta-388也是一款高端显微镜，可用于样品检查或自动缺陷检测。Zeta-388通过提供全面的台阶高度、粗糙度和薄膜厚度的 测量以及缺陷检测功能，以及晶圆盒到晶圆盒的晶圆传送，适用于研发及生产环境。 Closeup ...
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... Alpha-Step D-600 探针式 轮廓仪支持台阶高度和粗糙度的2D和3D 测量，以及2D翘曲度和应力。创新的光学杠杆传感器技术提供高垂直分辨率、长程垂直 测量范围和微力控制 测量能力。 探针接触式 测量技术的优点是可以进行接触式直接 测量，与材料特性无关。多种力度调节和探针选择可以让机台对各种结构和材料进行准确 测量。该探针 测量选项能够对您的工艺进行量化，以确定添加或去除的材料量，并通过 测量粗糙度和应力来确定结构的任何变化。 功能 台阶高度：纳米级到 ...
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... Alpha-Step D-500探针式 轮廓仪支持台阶高度、粗糙度、翘曲度和应力的2D 测量。 创新的光学杠杆传感器技术提供高分辨率 测量，大垂直范围和低触力 测量功能。 探针 测量技术的一个优点是它是一种直接 测量，与材料特性无关。 可调节的触力以及探针的选择都使其可以对各种结构和材料进行精确 测量。 ...
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... Zeta-20台式光学 轮廓仪是非接触式3D表面形貌 测量系统。 该系统采用ZDot™专利技术和Multi-Mode (多模式)光学系统，可以对各种不同的样品进行 测量：透明和不透明、由低至高的反射率、由光滑至粗糙的纹理，以及纳米至毫米级别的台阶高度。 Zeta-20的配置灵活并易于使用，并集合了六种不同的光学量测技术。ZDot™ 测量模式可同时采集高分辨率3D数据和True ...
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