3D轮廓测量仪 Tencor™ P-7
探针式用于粗糙度测量工业

3D轮廓测量仪 - Tencor™ P-7 - KLA Corporation - 探针式 / 用于粗糙度测量 / 工业
3D轮廓测量仪 - Tencor™ P-7 - KLA Corporation - 探针式 / 用于粗糙度测量 / 工业
3D轮廓测量仪 - Tencor™ P-7 - KLA Corporation - 探针式 / 用于粗糙度测量 / 工业 - 图像 - 2
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产品规格型号

所用技术
3D, 探针式
功能
用于粗糙度测量
技术参数
工业
配置
台式

产品介绍

Tencor P-7探针式轮廓仪以成功领先市场的Tencor P-17台式探针式轮廓仪系统为基础。它涵盖了P-17的卓越测量性能,为台式探针式轮廓仪提供了出色的性价比。Tencor P-7探针式轮廓仪支持对台阶高度、粗糙度、翘曲度和应力进行2D和3D测量,扫描范围可达150mm,无需拼接。 特征 台阶高度:纳米级到1000微米 恒定力控制:0.03至15mg 样品的全直径扫描,无需拼接 视频:5MP高分辨率彩色相机 弧形校正:可消除探针的弧形运动引起的误差 软件:简单易用的软件界面 生产能力:全自动测量,具有测序、图形识别和SECS/GEM功能 应用 台阶高度:2D和3D台阶高度 纹理:2D和3D粗糙度和波纹度 形状:2D和3D翘曲、形状 应力:2D和3D薄膜应力 缺陷检测:2D和3D缺陷表面形貌 工业 高校、实验室和研究所 半导体和化合物半导体 LED:发光二极管 太阳能 MEMS:微机电系统 数据存储 汽车 医疗器械 更多内容:请联系我们并告诉我们您的需求

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