Angstrom Sciences旋转磁电管

... Angstrom Sciences 的磁铁阵列还能提供更高的磁场强度，从而使用户能够以更低的功率运行溅射工艺，以达到典型的沉积速率。 从本质上讲， 圆柱形磁控 管可容纳的目标材料数量是具有相同空间面积的平面磁控 管的三倍。Angstrom Sciences 的 ONYX-Revolution™ 进一步优化了材料投资，靶材利用率高达 85%。此外，在较低功率水平下运行通常可节省 20% 的功率。 ...

... 在 Angstrom Sciences，我们设计、设计和制造世界上最先进、最可靠的磁控溅射阴极。我们为产品质量提供业界最长的 2 年工艺和材料保修服务。 我们还致力于确保您的磁控 管在整个使用寿命期间具有最高质量的性能。因此，我们为您在 ONYX® 或其他磁控 管组件上遇到的任何紧急情况或维护需求提供全面的维修和改造服务。 -源拆卸 -机械和电气损坏检查 -配合和公差检查 -更换 O 形环 -螺钉更换 -全面清洁 -磁铁检查：封装、清洁和测绘 -重新组装 -测试：真空、电气和水（提供测试表） - ...

... 旋转磁控 管是 圆形磁控 管的变体，其中的磁铁组围绕中心轴进行机械 旋转。这种装置最初是为半导体应用而开发的，能以尽可能小的阴极直径对固定基板进行均匀镀膜。这项技术的其他应用还包括重新沉积在靶面上的材料会在生长的薄膜中产生缺陷的情况；在 旋转磁控 管中，整个靶面都会被转速在 ...

... Angstrom Sciences 因其为磁控溅射应用带来的尖端技术而享誉全球。现在，我们已经开发出一种方法，可将您现有的 MRC 型磁控 管改装为我们获得专利的异型磁铁设计，从而将 Angstrom Advantage™ 应用于您的工艺中。 经济型解决方案 MRC 磁体改装可提供我们的异型磁体技术的性能优势，而成本大约只有更换整个现有 MRC 组件的三分之一。 -完全封装的磁体 -紊乱的水流 -提高热效率 -快速简便的插入式设计 -无缝集成 -高利用率阵列 ...

... 还是需要两者之间的完美平衡，我们都能为您量身定做。 我们都将确保 Angstrom Advantage™ 针对您的工艺进行优化。 无论您是需要定制磁控 管、安装硬件、法兰、快门组件、气体歧 管，还是需要完整的真空室，Angstrom Sciences 都能满足您的需求。 真空室，Angstrom Sciences 都将竭诚为您服务。 无论您需要定制磁控 管、安装硬件、法兰、快门组件、气体歧 管，还是完整的真空室，Angstrom ...

... 高功率射频磁控溅射阴极可成功应用于研发和生产，前提是在结构上采用特定的设计标准。 圆形高功率射频磁控 管可直接冷却，外径为 2 英寸-8 英寸。 由于射频功率在高频率下运行，因此磁控溅射阴极的设计必须能够控制该功率。Angstrom Sciences 的高功率射频磁控 管设计用于在目标表面均匀传输射频能量，同时提供低反射功率和射频限制。 高功率射频磁控 管有 圆形和线性两种配置。 ...