过程测量气体传感器

... 概述
Gasboard-2061 是一款基于 NDIR 的 WF6 气体传感器，专为钨 CVD（WCVD）沉积腔室内 WF6 浓度的实时测量与终点检测（EPD）而设计。该传感器在真空及工艺条件下提供高灵敏度和可重复的读数，可实现精确的终点指示并降低清洁气体消耗。

设计与集成
Gasboard-2061 采用紧凑模块化设计，便于在真空工艺管线中安装。316L 材料与密封光路结构使其耐受腐蚀性工艺气体。设备支持模拟和数字 I/O 以及 RS485 ...

测量范围(ppm): 0 unit - 1,500 unit

... 六氟化硫传感器SF6-015是一款基于非分光红外技术（NDIR）开发的六氟化硫（SF6）气体泄漏监测传感器，可以实时对环境中SF6气体浓度进行实时在线监测。该传感器具有精度高、长期稳定性好等特点，广泛用在气体分析、工业过程控制、环境检测、发电厂、变电站SF6气体浓度泄漏检测等领域。 产品特性 o - 采用自主知识产权的非分光红外技术（NDIR） o - 选择性高，无交叉气体干扰及中毒 o - 精度高，响应快速，长期稳定性好 o - 全温度和浓度范围内均可确保检测精度 o ...

... 产品概述
Gasboard-2060 是一款基于 NDIR 技术的 SiF4 气体传感器，专为硅基 CVD 沉积腔体的腔体清洗终点检测（EPD）实时监测而设计。该传感器采用专用气室和光学系统，可对腔体清洗过程中的 SiF4 浓度进行选择性测量，并支持通过模拟和数字接口集成至工艺控制系统。Gasboard-2060 提供快速响应的数据输出，便于清洗终点判定与过程控制。

特点

• 针对 SiF4 的 NDIR 检测优化。
• 快速响应（T90＜2s），用于精确判断清洗终点。
• 低零点漂移、高重复性，测量结果稳定。
• 模块化紧凑设计，便于安装与维护。
• 模拟（1–10VDC）与数字（RS232）输出；采样口：KF16。

... 产品概述
Gasboard-2061 是一款基于 NDIR 的 WF6 气体传感器，专用于钨 CVD（WCVD）腔室清洗过程的实时端点检测。可在工艺条件下对 WF6 浓度进行高灵敏度且稳定的测量，实时指示清洗结束，帮助缩短清洗时间、减少过度清洗用气并降低腔体磨损。

Gasboard-2061 采用紧凑模块化设计，便于安装。支持模拟和数字接口，支持校准与参数调整，便于集成到工艺控制系统中维护管理。

特性

• 针对 WF6

测量范围(ppm): 0 unit - 10,000 unit

... 产品介绍 Gasboard-2520 系列是立方仪器（武汉）有限公司自主研发的高性能气体分析传感器模块。它基于可调谐二极管激光（TDL）吸收光谱技术，采用高性能探头和专用工艺气室。具有精度高、灵敏度高、抗干扰能力强、寿命长、性能稳定等特点。 产品采用模块化设计，安装方便。产品可通过 RS-232/485 通信接口进行校准。恒温设计有效避免了温度变化对传感器的影响，可在恶劣的工作条件和复杂的气体环境中稳定工作。 功能特点 抗干扰能力强：采用窄带激光光谱吸收技术，具有独特的选择性，不受其他气体、湿度、灰尘等干扰。 响应速度快，测量精度高，使用寿命长。 多量程可选，全量程线性化，数字输出。 功耗低，模块化设计，易于集成。 技术规格 响应时间<30s 工作温度：-10~50°C 工作湿度： ...

测量范围(ppm): 0 unit - 100 unit

... Gasboard-2601是由四方仪器（四方光电全资子公司）自主研发的高性能红外气体分析传感器模组。产品基于非分光红外（NDIR）技术原理，采用气体滤波相关红外（GFC）吸收法，通过比较样气和参比气体的吸收程度，依据朗伯-比尔定律吸收关系计算出被测气体的浓度，并通过参考气室有效消除气体干扰带来的检测误差。 产品采用可靠稳定的光源、高性能探测器及精密信号处理电路，具有测量精度高、抗干扰能力强及长期使用稳定等优势，尤其适用于气体浓度低、吸收弱且需要长期监测的工况环境。 产品特性 适用于超低浓度气体测量，可检测0~50ppm以下的CO气体 检测器接收到的能量差值只与被测气体浓度有关，抗干扰性能良好 长寿命光源及可靠的滤波气体密封技术，可满足长时间稳定工作 受外界环境影响小，无需频繁校准 整定恒温控制，漂移小，稳定性高 独立的气体检测模块，便于集成应用 ...

测量范围(ppm): 0 unit - 20 unit

... 产品概述
德国制造的BR1臭素传感器为带微孔膜的安培法电位控制三电极系统。可测量游离臭素（HOBr）和BCDMH，适用于饮用水、泳池水、生活用水、工艺用水和海水。传感器提供自动温度补偿、多个输出版本、IP65/IP68防护选项，不需要零点调节。可采用DPD1/DPD4方法进行校准。通过EMC测试并符合RoHS要求，需每周进行信号检查并按计划维护以确保长期稳定性。

主要特点

• 对pH的依赖显著降低
• 耐表面活性剂影响
• 对二氧化氯、氯、氯酸盐无交叉敏感性
• 自动温度补偿（内置温度传感器）
• 无需零点调节
• 通过EMC测试且符合RoHS

• 饮用水
• 泳池水
• 生活用水
• 工艺用水
• 海水

• 被测水最高温度：45

... 在许多应用中，六氟化硫仍然是不可或缺的微量、保护或绝缘气体。由于六氟化硫具有很强的温室效应，因此对这种气体进行负责任的处理就显得尤为重要。MicroFLOW SF6.100 Vol.-% 传感器适用于要求精确可靠的各种苛刻应用。 应用领域 工业：SF6 用于等离子蚀刻工艺，在硅、二氧化硅和其他化合物等半导体材料上形成精确的图案。在特殊的蚀刻室中使用这种气体，通过施加高频能量将其转化为等离子体。然后，等离子体与材料发生选择性反应，在非常受控和精确的过程中实现材料的精确雕刻或去除。 在铝的生产过程中，六氟化硫被用作一种示踪气体，以提高生产过程的效率，并及早发现潜在的问题。六氟化硫还可用于监测最终产品的质量和一致性。 能源技术：在电力供应领域，SF6 ...

... 为什么要使用 EC Sense DGM10 双气体模块？ DGM10 双气体模块可同时检测两种气体以及温度和湿度。它将最先进的传感设备与数字 modbus 信号输出完美地结合在一块精密的电路板上。该模块基于高可靠性的固体聚合物电化学传感器技术。双气体传感器模块将微小的传感器信号转换为标准化的数字输出。因此，DGM10 传感器模块是一种易于使用的应用解决方案。 为什么要使用 EC Sense DGM10 气体传感器模块？ 当您专注于自己的专业领域时，您不必担心繁琐的校准工作。您只需将 DGM10 ...

测量范围(ppm): 0 unit - 1,000 unit
测量范围(%): 0 % - 25 %

... 概述
EC Sense的DS4数字气体传感器模块采用印刷固体高分子电化学技术，体积紧凑且能耗低。该模块面向工业、物联网和便携式应用设计，集成微处理器、高精度ADC及嵌入式算法，实现低维护的持续监测。出厂预校准，无需预热即可工作。

技术
DS4采用固体化电解质的印刷电化学单元，具有三电极（贵金属）和多孔膜结构。固体聚合物结构降低液体泄漏风险，提升在高湿或极端温度环境下的稳定性和寿命。气体扩散进入传感单元后，产生与浓度成比例的电流信号。

高级特性

• 内置微处理器、高精度ADC和嵌入式算法
• 工作电压：3.3–12