NDIR气体传感器 Gasboard-2061

用于过程测量固态气体净化监测数字

产品概述
Gasboard-2061 是一款基于 NDIR 的 WF6 气体传感器，专用于钨 CVD（WCVD）腔室清洗过程的实时端点检测。可在工艺条件下对 WF6 浓度进行高灵敏度且稳定的测量，实时指示清洗结束，帮助缩短清洗时间、减少过度清洗用气并降低腔体磨损。

Gasboard-2061 采用紧凑模块化设计，便于安装。支持模拟和数字接口，支持校准与参数调整，便于集成到工艺控制系统中维护管理。

特性

• 针对 WF6 监测优化的 NDIR 测量。
• 快速响应以实时跟踪浓度变化。
• 低零点漂移、高重复性，测量结果稳定一致。
• 密封设计，适用于真空环境运行。
• 316L 不锈钢结构，耐工艺腐蚀环境。
• 模拟与数字 I/O 便于系统集成与维护。

规格
测量成分：WF6
量程：0–200 mTorr
重复性：±0.5%
精度：±1% F.S.
工作电压：24 VDC
工作电流：1.5 A（最大）
模拟输出：0–5 VDC（4 路）或 4–20 mA（4 路）
模拟输入：0–10 VDC（1 路）
数字输出：4 路；数字输入：1 路
通讯：RS485
取样接口：NW25
泄漏率：≤1 × 10⁻⁶ Pa·m³/s（He）
工作环境温度：20–35 ℃

注意

• 表中所有数据均在标准大气压下测得。
• 校准气体由国家计量机构认证的机构提供；气体以干燥氮气稀释，纯度为 99.999%。
• 上述性能为校准后数据；每台传感器在出厂时均进行 100% 校准。
• 除非另有说明，测量在 25 ℃ 条件下进行。

技术规格

• 测量成分：WF6
• 量程：0–200 mTorr
• 重复性：±0.5%
• 精度：±1% F.S.
• 工作电压：24 VDC
• 工作电流：1.5 A（最大）
• 模拟输出：0–5 VDC（4 路）或 4–20 mA（4 路）
• 模拟输入：0–10 VDC（1 路）
• 数字输出：4 路；数字输入：1 路
• 通讯：RS485
• 取样接口：NW25
• 泄漏率：≤1 × 10⁻⁶ Pa·m³/s（He）
• 工作环境温度：20–35 ℃