NDIR气体传感器 Gasboard-2060

固态气体净化监测模拟电压输出

概述
Gasboard-2060 是一款高性能 SiF4 气体传感器，专为硅基 CVD 沉积腔室的实时腔室清洗终点检测（EPD）设计。基于非分散红外（NDIR）技术并配备专门设计的气室，可在半导体腔室清洗过程中对 SiF4 浓度进行高选择性和高精度检测。Gasboard-2060 实时监测 SiF4 浓度，能够快速且精确地指示清洗终点，从而减少清洗时间和气体消耗，同时降低腔室磨损并延长部件使用寿命。模块化设计便于安装，并支持校准和调节功能，便于集成与维护。

特性

• NDIR 技术，具备对 SiF4 的高灵敏度和高精度测量能力。
• 响应快速，可精确判断沉积腔室清洗终点。
• 低零点漂移和高重复性，确保测量性能稳定。
• 模块化设计，便于系统集成和安装。
• 提供模拟和数字通信输出，接口灵活。

规格
测量气体：SiF4
检测原理：NDIR
量程： (0.0-0.2) Absorbance
响应时间：T90＜2s
数据报告率：0.5s
模拟输出：1-10VDC
电源输入：15VDC (≤300mA), 24VDC
数字通信：RS232
取样口：KF16
尺寸：200×120×75.5mm
泄漏率：＜1×10-8 Pa·m3/s (He)
工作温度： (5～65) ℃

技术规格

• 测量气体：SiF4
• 检测原理：NDIR
• 量程： (0.0-0.2) Absorbance
• 响应时间：T90＜2s
• 数据报告率：0.5s
• 模拟输出：1-10VDC
• 电源输入：15VDC (≤300mA), 24VDC
• 数字通信：RS232
• 取样口：KF16
• 尺寸：200×120×75.5mm
• 泄漏率：＜1×10-8 Pa·m3/s (He)
• 工作温度： (5～65) ℃