NDIR气体传感器 Gasboard-2060

红外用于过程测量固态气体净化监测

产品概述
Gasboard-2060 是一款基于 NDIR 技术的 SiF4 气体传感器，专为硅基 CVD 沉积腔体的腔体清洗终点检测（EPD）实时监测而设计。该传感器采用专用气室和光学系统，可对腔体清洗过程中的 SiF4 浓度进行选择性测量，并支持通过模拟和数字接口集成至工艺控制系统。Gasboard-2060 提供快速响应的数据输出，便于清洗终点判定与过程控制。

特点

• 针对 SiF4 的 NDIR 检测优化。
• 快速响应（T90＜2s），用于精确判断清洗终点。
• 低零点漂移、高重复性，测量结果稳定。
• 模块化紧凑设计，便于安装与维护。
• 模拟（1–10VDC）与数字（RS232）输出；采样口：KF16。

规格
测量气体：SiF4
检测原理：NDIR（非分散红外）
量程：（0.0–0.2）Absorbance
响应时间：T90＜2s
数据上报速率：0.5s
模拟输出：1–10VDC
电源输入：15VDC（≤300mA）或24VDC
数字通信：RS232
采样口：KF16
外形尺寸：200 × 120 × 75.5 mm
泄漏率：＜1×10-8 Pa·m3/s（He）
工作温度：5～65 ℃

技术规格

• 测量气体：SiF4
• 检测原理：NDIR
• 量程：（0.0–0.2）Absorbance
• 响应时间：T90＜2s
• 数据上报速率：0.5s
• 模拟输出：1–10VDC
• 电源输入：15VDC（≤300mA）或24VDC
• 数字通信：RS232
• 采样口：KF16
• 外形尺寸：200×120×75.5 mm
• 泄漏率：＜1×10-8 Pa·m3/s（He）
• 工作温度：5～65 ℃