NDIR气体传感器 Gasboard-2061

用于过程测量固态气体净化监测用于流程控制

概述
Gasboard-2061 是一款基于 NDIR 的 WF6 气体传感器，专为钨 CVD（WCVD）沉积腔室内 WF6 浓度的实时测量与终点检测（EPD）而设计。该传感器在真空及工艺条件下提供高灵敏度和可重复的读数，可实现精确的终点指示并降低清洁气体消耗。

设计与集成
Gasboard-2061 采用紧凑模块化设计，便于在真空工艺管线中安装。316L 材料与密封光路结构使其耐受腐蚀性工艺气体。设备支持模拟和数字 I/O 以及 RS485 通信，便于校准、数据记录及与过程控制系统集成。

主要特性

• 针对 WF6 测量优化的 NDIR 检测技术。
• 快速响应用于实时跟踪浓度变化。
• 低零点漂移与高重复性，保证测量一致性。
• 密封设计，适用于真空环境。
• 316L 抗腐蚀结构，适应苛刻工艺条件。
• 提供灵活集成的模拟输出（0–5 V 或 4–20 mA）、模拟输入与数字 I/O。

规格（表）
测量成分：WF6
量程：0–200 mTorr
重复性：±0.5%
精度：±1% F.S.
工作电压：24 VDC
工作电流：1.5 A（最大）
模拟输出：0–5 VDC（4 路）或 4–20 mA（4 路）
模拟输入：0–10 VDC（1 路）
数字输出：4 路
数字输入：1 路
通讯：RS485
取样接口：NW25
泄漏率：≤1 x 10-6 Pa·m3/s（He）
环境工作温度：20–35 ℃

测量条件注意事项
1. 表中数据在标准大气压下测得。
2. 校准用气体由国家计量机构认证的机构提供；所有气体均在干燥氮气中稀释（纯度 ≥99.999%）。
3. 以上性能为校准后的结果；每个传感器在生产时均完成 100% 校准。
4. 测量在 25 ℃ 环境温度下进行。

技术参数

• 型号：Gasboard-2061
• 测量气体：WF6
• 量程：0–200 mTorr
• 重复性：±0.5%
• 精度：±1% F.S.
• 电源：24 VDC
• 最大工作电流：1.5 A
• 模拟输出：0–5 VDC（4 路）或 4–20 mA（4 路）
• 模拟输入：0–10 VDC（1 路）
• 数字输出：4 路；数字输入：1 路
• 通信接口：RS485
• 取样接口：NW25
• 泄漏率（He）：≤1 x 10-6 Pa·m3/s
• 环境工作温度：20–35 ℃
• 结构：316L 抗腐蚀材料；密封设计适用于真空环境