液体过滤器 INC-P003

气体工艺流程陶瓷

Innovacera利用其深厚的陶瓷专业知识和工艺能力，制造出具有精确控制孔隙率的陶瓷。多孔陶瓷通常用于化学过滤和流体分离。 Innovacera的多孔陶瓷系列是由氧化铝和碳化硅制成。这种坚固、均匀的多孔陶瓷具有40-50%的开放孔隙率，具有迂回的孔隙结构，孔隙大小从1到100微米不等。 多孔陶瓷的三个主要应用： 真空吸盘，如划片机真空吸盘，硅片真空吸盘。 吸附平台。 悬浮平台。 特别是，它们被广泛用于半导体行业，如LED晶圆加工。 微孔陶瓷工作盘是各种半导体硅片生产过程中吸附和承载的专用工具，适用于薄片、切割、清洗、搬运等过程。 它们可以与日本、德国、以色列、美国和国内的设备配合使用，如Disco、ADT、K & S、Applied materials TSK、OKAMOTO、Micro Automation、Load Point。