高精度矫直系统 PIC&SOA-AA-10

自动

PIC&SOA-AA-10是一款用于PIC与SOA装配的主动耦合系统，旨在通过精确对准与高效工艺自动化，提升产品质量稳定性与生产良率。该设备集成了双路六自由度主动耦合支撑系统和多项高精度控制与自动化功能。

主要特性

• 两套六自由度主动耦合支撑系统，实现高精度对准。
• 载台温度控制：20–80°C，±0.5°C。
• 高精度视觉引导与压力反馈，实现闭环对准。
• 自动精确点胶，配备一体化UV固化功能。
• 气浮减振系统，有效隔离外部振动，提高良率。
• 高兼容性：可更换夹具与软件切换，支持快速换型与工业化量产。

适用领域

• 光子学
• 功率器件
• 微波/RF器件制造
• 新能源车辆领域

特点／技术规格

• 载台温度控制：20~80℃，±0.5℃
• 耦合线性轴可重复定位精度：±100 nm
• 设备重量：約650 kg
• 正压气源：压力 ≥ 0.5 MPa；接口口径：8 mm
• 负压气源：真空度 ≤ -80 kPa；接口口径：8 mm；可选真空泵
• 附加功能：SOA真空吸附 + 电动爪夹持；自动击穿探针电源；带风冷散热的PIC温控治具和PIC自动扎线探针；末端压力反馈；自动点胶与自动UV固化；气浮减振系统。