耦合试验机 CT1000-SiPh

自动CNC数控材料

概述
CT1000-SiPh是一款面向大批量工业化的硅光芯片测试设备。设备由测试部分和上下料部分组成，可实现光纤阵列（FA）与硅光芯片的快速、精确耦合与测量。系统集成高分辨率视觉系统、高精度耦合机构和动态闭环力控，保证测量一致性与产能。

主要特性

• 高分辨率视觉系统（视觉分辨率 50 nm）
• 用于FA→芯片定位的高精度耦合机构
• 实现快速且可重复耦合的动态闭环力控
• 高度兼容的设计，支持多种芯片类型与接口
• 适用于产线节拍的篮筐式自动上下料

优势

• 测试部分采用独立气浮减震系统，隔离外部及上下料振动
• 适合批量生产的篮筐式自动搬运
• 末端压力反馈用于精确的工艺控制与监测
• 支持热风扩膜等工艺流程

应用领域

• 光电子（Photonics）
• 功率器件
• 微波射频器件
• 新能源汽车（动力系统与传感模块）

特性 / 规格

• 拉篮容量：25片 8 英寸 wafer ring
• 耦合分辨率：50 nm
• 设备重量：约 1300 kg
• 正压源：压力 ≥ 0.5 MPa；接管口径：8 mm
• 负压源：真空度 ≤ -80 KPa；接管口径：8 mm（可选配真空泵）