XYZ轴定位系统 782300:150.26.AB

线性立式卧式

龙门式设计可以在1,000 x 800 mm的区域内进行高动态运动（根据应用和可用空间进行调整），重复性为0.3 µm，从而保证了高产量和稳定的质量。在水平的XY层面，集成的线性马达确保了500毫米/秒的加工速度，而在垂直的Z轴上，交流伺服实现了高达200毫米/秒的数值。Z轴上的定制加工头或传感器在花岗岩上的载体上快速而平稳地移动。横移适用于高达10公斤的负载，而高度可以根据应用和部件高度变化到500毫米。 多样化的个性化定制选项 - 半导体或光学制造领域检测系统的理想基础 - 1300 x 800毫米的超大行程 - 高动态，最高速度可达1000毫米/秒 - 集成的直线电机保证了高加速度和高速度，同时也保证了高精确度 - 通过研磨过的精密滚珠丝杠在Z轴上进行高精度和长寿命的驱动 - 易于集成或连接到自动处理系统 - 额外的外壳集成了抽气装置或外壳，适用于洁净室等级ISO 6的应用。 可选择扩展。 - 可堆叠的系统设计 - 行程、长度组合、电缆和运动控制的调整 - 与升降台和/或旋转台相结合，用于复杂几何形状的检测 - 为半自动化或高度自动化的半导体工厂提供定制的接口 - 用于洁净室ISO 14644-1的版本（根据要求可达到1级）。 - 与预配置的运动控制器一起立即使用，包括示范性的软件