线性位移台 KDT120

压电双轴交叉滚子

KDT120-20 高分辨率 XY 平台 应用：真空 XY 平台 优点：快速、高分辨率 特点：偏航和俯仰参数比带光圈的型号高三倍 - 真空：所有 HV / UHV / EUV 范围，最高 10E-11 毫巴 - 润滑：液态最高达 10E-8 / 干态最高达 10E-11 mbar - 磁性：磁性 / 低磁性 / 无磁性 - 最高烘烤温度120°C 选项 - 带孔径和不带孔径 - 提供磁性、低磁性和无磁性型号 - 不同的电机类型：纳米电机或压电电机 - 可与 XYZ 定位系统（如 MT105）组合使用 - 可与旋转平台（如 DT105）组合，用于旋转应用 - 可选配控制器 FMC400/450 技术参数： - 行程： 24 毫米 - 重复精度： - ± 0.03 µm （单向 ± 0.03 微米（单向）- ± 0.05 微米（双向 ± 0.05 µm（双向） - 载荷： → 5 N / ↑ 45 N - 最大速度速度： - 5 mm/s - 电机压电电机 - 轴承： 不锈钢交叉滚子轴承，混合轴承，可选全陶瓷轴承 - 反馈：线性刻度线性刻度 - 反馈分辨率 0.005 微米 - 0.1 微米