电动机械手 3LT300

真空式定位3轴

来自三个 LT300 的三轴机械手 应用： HV 3 轴定位系统 优点： 到达位置时极其稳定，干式双倍 特点：稳定 通过压电制动器实现稳定 - 真空：所有压力范围 HV / UHV，最高 10-11 - 磁性：磁性 - 润滑：液态最高 10E-8 / 干态最高 10E-11 毫巴 - 最大烘烤温度120°C 选项 - 根据应用选择材料和真空润滑 - 根据炉室安装情况进行个性化调整 - 可选配 FMC400/450 控制单元 技术数据 - 行程范围10 毫米 - 100 毫米 - 重复精度 ± 4 微米（单向） ±5微米（双向） - 载荷： → 200 N / ↑ 20 N - 最大速度： 10 毫米/秒 - 电机压电电机 - 导轨交叉滚子轴承，不锈钢，混合动力 - 反馈：线性测量系统，开环 - 分辨率测量系统： 0.001 微米 - 0.1 微米