旋转位移台 MR-30028

闭合回路铝制直接传动

SMARSHIFT MR-30028 旋转平台是一款大面积旋转台，直径 300 毫米，大孔径 110 毫米。它具有高转速、高扭矩和长使用寿命等特点，而且精度极高。其紧凑的尺寸和低矮的外形简化了与现有系统的集成，并为您的应用留出了足够的空间。 应用领域 MR-30028 旋转台专为晶圆旋转平台而设计。作为一个最大可容纳 300 毫米（12 英寸）晶圆的平台，它可用于计量方法（如反射测量法、反射光谱法、光谱椭偏仪 (VASE) 等）或制造（用于晶圆键合、EUV 光刻等）。其他应用领域包括光子学工业和天文学中较重物体的光学对准。 规格 最大法向力 [N] - 1000法向力 [N] - 1000 尺寸 [mm] - ⌀ 300 × 28 重量 [g] - 5000 孔径 [mm] - 110 材料 底座材料 - 铝，黑色阳极氧化处理 开环 角速度 [°/s] - 540 - 闭环 传感器类型 - S 传感器分辨率 [µ - <1 角速度 [°/s] - 540