混合驱动平台结合了长行程范围粘滑平台和高分辨率压电扫描器的优点。
和SmarAct所有的混合驱动平台一样,DLS-5252结合了长行程棒状滑移平台和高分辨率压电扫描器的优点。DLS-5252与SmarAct模块化系统兼容,这意味着该平台可以很容易地安装到CLS-52平台、等效旋转平台和所有转接板和连接元件上。虽然该平台由两个不同的驱动单元组成,但它只需要MCS2的一个通道。
机械方面
扫描范围 [µm] > 35
阻断力 [N] > 3.5
最大。正常力 [N] 5.0
最大。提升力 [N] > 1.5
重量[g] - 130
尺寸 [mm] 52 x 52 x 15 (L x W x H)
共振频率(无负载)[Hz] - > 350
闭环
闭环分辨率MCS2 [纳米] - 1 (S)
扫描截止频率 [Hz] - > 10
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