激光振动分析仪 NA

高精度FFT非接触式

用于微结构和微机电系统的测振仪系统 - 对微型物体进行高精度、非接触式振动测量 - 易于调整和操作 - 多种触发选项 - X-Y 工作台 50 毫米 x 50 毫米，可根据要求提供其他选项 - 10x, 20x, 50x 显微镜物镜 - 光斑直径 2 µm - 10 µm（视物镜而定） - 可在原始设备制造商处使用测振仪装置 - 为 Windows 和 Linux 下的 OEM 软件提供开放接口 - 用于频谱分析的 FFT 软件 纳米振动分析仪 NA 是 LSV 120 NG 系列光纤耦合测振仪与工程显微镜的组合。该系统非常适合测量微结构、微机电系统和悬臂的动态行为和静态挠度。根据所用物镜的不同，可实现小于 2 µm 的测量光斑尺寸。 被测物体可通过 X-Y 平台进行大范围定位和扫描，并可通过摄像头进行观察。显微镜物镜可以互换，并可定义可见范围和激光光斑直径。激光干涉测振仪的位移分辨率可达皮米级，振动频率可达 5 MHz。 专门开发的软件可用于采集和显示测量数据。除了振动频率分析和触发式测量记录外，该软件还能控制 X-Y 工作台和外部频率发生器。更多的测量序列可通过脚本自动完成。