固定式厚度测量仪 ECV Pro™

用于膜非接触式带自动校准功能

ECV Pro 系统的设计从头开始，消除了数据中所有依赖于操作员的变化。 产品概 述 ECV Pro 系统是测量半导体层中有源载波浓度曲线的行业标准。 该系统新设计的数字电子元件消除了漂移，并显著提高了信噪比。 ECV Pro 系统的独特设计消除了数据中所有依赖于操作员的变化。 推出第一台原位摄像机 EcVision，使用户能够成像半导体/电解质接口。 它还提供了在蚀刻过程中的薄膜去除或缺陷揭示的新的见解。 ECV Pro 系统软件基于行业标准的 SEMI E-95 指南。 该软件支持自动分析，并可编程以生成过程控制图。