产品概述Nikon 的 XT V 系列提供用于电子部件(如 PCB、BGA、芯片)无损检测的 X 射线与 CT 检测系统。该系列将 Xi 微焦点 X 射线源与 Inspect‑X 软件相结合,并提供 Low Dose Collimator、ESD Safety Upgrade 等选件,以支持批量检测与敏感器件保护。
主要功能- 针对 PCB、BGA、键合线(bond wires)、PTH 及复杂封装的高分辨率检测。
- 通过 Inspect‑X 与 PCB Analysis Suite 实现自动化检测流程,快速建立合格/不合格程序并生成报告。
- 垂直系统结构,配备精密机械手与摇杆控制,支持 360° 旋转与智能运动,在旋转过程中保持关注区域在视野内。
- 自动防撞功能与面向操作者的界面,提升运行安全性。
- Low Dose Collimator 选件可在批量检测放射敏感半导体时将辐射剂量降至最低。
- 可选 ESD Safety Upgrade,提供符合行业标准的静电保护。
- 配备 Diamond Window 的 Xi 微焦点 X 射线源,开放管设计并支持可更换灯丝。
- 图像增强功能(含 High Contrast Filter 2.0),可在高/低对比区域同时揭示细节。
产品亮点- 高产能 — 使用 Inspect‑X 快速设置自动化检测并进行 BGA、键合线与复杂封装的高级测量。
- 安全性 — 自动防撞、Low Dose Collimator 与可选 ESD Safety Upgrade 提供持续保护。
- 易用性 — 垂直结构、倾斜成像器与直观机械手支持极端倾角视图与 360° 旋转。
- 数据质量优异 — Xi 微焦点源配合 Diamond Window 与一体化发生器,保证运行可靠性。
- 强大成像能力 — High Contrast Filter 2.0 加快缺陷识别并提升精度。
规格(摘要)型号 — XT V 160 | XT V 130C
最大 kV — 160 kV | 130 kV
X 射线源 — 开放式管道、可更换灯丝(Xi 微焦点) | 开放式管道、可更换灯丝(Xi 微焦点)
高压发生器 — 一体式发生器(无需高压电缆维护) | 一体式发生器(无需高压电缆维护)
特征识别 — 亚微米(XT V 160) | 微米级(XT V 130C)
视角范围 — 任意方向最大 82°(XT V 160) | 任意方向最大 79°(XT V 130C)
样品托盘 — 碳纤维托盘,直径 580 mm | 碳纤维托盘,直径 580 mm
机柜尺寸(W x D x H) — 1,260 x 1,789 x 1,904 mm | 1,260 x 1,789 x 1,904 mm
系统重量 — 2,100 kg | 2,100 kg
ESD 安全 — 可选 ESD Safety Upgrade(符合行业标准) | 可选 ESD Safety Upgrade(符合行业标准)
主要应用 — 用于研发、质量保证/控制及失效分析的电子与半导体自动化实时检测 | 实时电子元件检测
行业应用- 电子器件检测 — BGA 缺陷检测、键合线完整性分析、PCB 批量检测与自动化合格/不合格流程。
- 半导体 — 支持 ESD 保护与低剂量流程以检测敏感器件;High Contrast Filter 2.0 提高缺陷可视性。
- 质量检测实验室 — 支持自动化流程、X.Tract 虚拟横截面进行详细分析,Heavy Duty Tray 扩展样品处理能力。
- 研发 — 高倍放大 CT 臂与增强成像用于器件开发与失效分析。
常见问题(摘要)- 主要优势:更高的图像分辨率与放大能力、更灵活的样品处理以及对敏感元件的保护选项(ESD 与辐射控制)。
- ESD Safety Upgrade 的重要性:防止静电损伤并有助于满足行业 ESD 标准。
- Low Dose Collimator 的作用:最小化一次束照射并屏蔽未检区域,从而允许更大批量的检测。
- 适用于电子检测的原因:专为电子元件的无损检测设计,结合 Xi 源、Inspect‑X 与精密运动控制。
技术规格- 系列 / 型号:XT V series(XT V 160、XT V 130C)
- 最大加速电压:XT V 160 = 160 kV;XT V 130C = 130 kV
- X 射线源:Xi 微焦点,开放管,可更换灯丝
- 高压发生器:一体式发生器(无需高压电缆维护)
- 分辨率 / 特征识别:XT V 160 可达亚微米,XT V 130C 为微米级
- 视角范围:XT V 160 任意方向最大 82°;XT V 130C 任意方向最大 79°
- 样品托盘:碳纤维,直径 580 mm
- 机柜尺寸(W×D×H):1,260 × 1,789 × 1,904 mm
- 系统重量:约 2,100 kg
- 软件:Inspect‑X、PCB Analysis Suite、X.Tract
- 图像增强:High Contrast Filter 2.0
- 选件:Low Dose Collimator、ESD Safety Upgrade、High Magnification CT Arm、Heavy Duty Tray