概述Nikon XT V 系列 X 射线 CT 检测系统用于电子元件(PCB、BGA、芯片)和半导体器件的高分辨率无损检测,适用于研发、质量保证/质量控制和失效分析。系统集成 Xi 微焦点 X 射线源、可更换灯丝的开放管设计与一体化高压发生器,以降低维护与运行成本。
主要特点- 自动检测:Inspect‑X 界面与 PCB Analysis Suite 支持快速构建自动检测程序,提供 BGA、键合线、PTH 及复杂封装的测量与自动合格/不合格报告。
- 持续保护:自动防撞和 Low Dose Collimator 在批量检测时将剂量降至最低;可选 ESD Safety Upgrade 用于保护敏感半导体和电子元件。
- 易用操控:垂直配置(X 射线源位于样品下方、成像器位于上方可倾斜),精确的摇杆控制与智能运动在 360° 旋转时保持目标区域在视野内。
优质数据质量- Xi 微焦点 X 射线源提供清晰、稳定的图像;Diamond Window 提升工作范围内对比度。
- 开放管可更换灯丝设计降低长期运行成本。
- High.Contrast Filter 2.0 可在单幅图像中同时呈现高/低对比度细节,加速缺陷识别。
成像与检测功能- Inspect‑X 软件提供以操作员为中心的工作流程、先进的成像与分析工具,优化电子检测流程。
- 自动防撞与智能运动控制支持在极端倾斜角度下的安全精确扫描。
- 可选 ESD Safety Upgrade 符合行业 ESD 标准,在检测过程中保护敏感器件。
规格表(摘要)型号 | XT V 160 | XT V 130C
最大 kV | 160 kV | 130 kV
X 射线源 | 开放式管道,配备可更换灯丝(两款型号通用)
高压发生器 | 一体化发生器 — 无需 HV 电缆维护(两款型号通用)
特征识别 | 亚微米(XT V 160) | 微米级(XT V 130C)
视角范围 | 任意方向最大 82°(XT V 160) | 任意方向最大 79°(XT V 130C)
样品托盘 | 碳纤维托盘,直径 580 mm(两款型号通用)
机柜尺寸(W x D x H) | 1,260 x 1,789 x 1,904 mm(两款型号通用)
系统重量 | 约 2,100 kg(两款型号通用)
ESD 安全 | 可选 ESD Safety Upgrade,符合行业标准(两款型号通用)
主要应用 | 面向研发 / 质量保证 / 质量控制 / 失效分析的自动化与实时电子及半导体检测(XT V 160) | 实时电子元件检测(XT V 130C)
技术特性 / 规格要点- 型号:XT V 160 与 XT V 130C。
- 最大加速电压:160 kV(XT V 160)/ 130 kV(XT V 130C)。
- X 射线源:开放式管道,配备可更换灯丝;Xi 微焦点 X 射线源提供高精度稳定图像。
- 发生器:一体化高压发生器(无外部 HV 电缆维护需求)。
- 分辨率 / 特征识别:亚微米(XT V 160)和微米级(XT V 130C)。
- 视角:任意方向最大 82°(XT V 160)/ 最大 79°(XT V 130C)。
- 样品承载:直径 580 mm 碳纤维托盘;可选重载托盘以支持批量样品。
- 尺寸(W x D x H):1,260 x 1,789 x 1,904 mm。
- 系统重量:约 2,100 kg。
- 辐射防护:Low Dose Collimator 用于在检测过程中降低剂量。
- ESD 保护:可选 ESD Safety Upgrade 符合行业 ESD 标准。
- 软件与自动化:Inspect‑X 与 PCB Analysis Suite 支持自动测量、BGA/键合线/PTH/PoP 分析及自动判定与报告。
- 图像增强:High.Contrast Filter 2.0。