线性位移台 DSP50

XYZ轴压电3轴

驱动力高达 15 N 超紧凑型多相平台 用于 NOVA 控制系统 我们的新型 DSP50 线性平台适用于新一代 NOVA 控制器设备，在 10 毫米的行程范围内可承受高达 16N 的阻挡力。由于采用了多个压电惯性驱动装置，它的专业多相控制器速度可达 1mm/s，运动极为均匀。 光学传感器可实现 1nm 的运动检测精度和高重复精度。线性平台可作为单轴、双轴或三轴定位系统用于标准和真空条件下。 紧凑的设计、可重复性和出色的精度为许多应用领域（如光学测量和调整）提供了优势。 技术数据 宽度 - 50 毫米 高度 - 16 毫米 深度 - 50 毫米 最大载荷 力矩 (Mx) - 6.5 牛米 力矩 (My) - 6.5 牛厘米 力矩 (Mz) - 6.5 牛厘米 阻挡力 (Fx) - 16 N 轴承力 (Fy, Fz) - 0 N 制导精度 偏航角 - 20 弧秒 俯仰角 - 60 弧秒 垂直偏差 - 1 微米 横向偏差 - 2 微米 测量信息 参考标记 - 中间 分辨率 - 1 微米至 1 纳米 电源电压 - 5 V 功耗 - 200 mA