平动位移台 MS30

压电多轴小型

用于闭环操作（分辨率可达 50nm） 多轴组合，无需转接板 微型平移台，带压电惯性驱动和测量系统。 技术数据 宽度 - 52 毫米 高度 - 12.5 毫米 深度 - 30 毫米 最大载荷 力矩 (Mx) - 5 牛厘米 力矩 (My) - 5 牛厘米 力矩 (Mz) - 5 牛厘米 阻挡力 (Fx) - 4.5 N 轴承力 (Fy, Fz) - 30 N 制导精度 偏航角 - 170 弧秒 俯仰角 - 160 弧秒 垂直偏差 - 3 微米 横向偏差 - 3 微米 测量信息 参考标记 - 中间 分辨率 - 1 微米至 50 纳米 电源电压 - 5 V 功耗 - 150 mA