平动位移台 NDS70

压电闭合回路小型

用于闭环（分辨率高达 50 nm） 用于 NOVA 系统 用于 NOVA 系统的带压电惯性驱动的微型平移台。标准版 技术数据 宽度 - 70 毫米 高度 - 20 毫米 深度 - 70 毫米 动力 (Mx) - 5 Ncm 动力 (My) - 5 Ncm 力矩 (Mz) - 5 牛厘米 阻挡力 (Fx) - 9 N 轴承力 (Fy, Fz) - 30 N 制导精度 偏航角 - 20 弧秒 俯仰角 - 60 弧秒 垂直偏差 - 1 微米 横向偏差 - 2 微米 测量信息 参考标记 - 中心 分辨率 - 1 微米至 50 纳米 电源电压 - 5 V 功耗 - 150 mA