晶体生长管式炉采用可编程运动系统,可在氧化环境中长时间 "摇摆 "整个热区,同时保持高达 1300°C 的温度。
加热区由一根 50 英寸长的莫来石管和电阻式加热元件组成。热区包含三个独立的加热元件。
整个热区可以 90° 角连续摇摆,用于晶体复合材料的生长。
一旦完成摇摆热循环,一个独特的淬火系统就会将晶体复合材料降至冷却介质中的可控深度,以便快速冷却。
一般规格:
管状 4 英寸 x 28 英寸可用热区
90° 连续旋转,带摇摆驱动机构
可立即冷却的快速淬火装置
+/- 1 摄氏度的均匀热区
炉腔和热区由一根 50 英寸长的莫来石管和电阻式加热元件组成。热区包含三个独立的加热元件。中心区为 28 英寸,两侧各有 10 英寸的缓冲区,可在整个 28 英寸范围内实现 +/- 1 摄氏度的均匀性,并能保持 1300 摄氏度的温度。热区腔体安装在透明外壳中,可确保安全和清洁环境。
腔体内有一个马弗管,通过端塞将其固定在热区中心。马弗管中装有介质。马弗管的一端盖有塞子,另一端是一个弹簧盖,当介质淬火准备就绪时,盖子会自动取下。一根中心线穿过马弗管的中心,连接到晶体安瓿瓶上,从而实现可编程的淬火速度和距离。
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