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- Kawasaki Robotics GmbH/川崎重工
关节型机器人 TTS series4轴5轴搬运
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产品规格型号
- 类型
- 关节型
- 轴数量
- 4轴, 5轴
- 功能
- 搬运
- 安装类型
- 落地式
- 应用领域
- 用于无菌室
- 其他特性
- 高速, 高精度
- 最大载荷
0.7 kg
(1.543 lb)- 作用范围
1,066 mm
(41.97 in)- 重复精度
0.1 mm
(0.0039 in)
产品介绍
TTS 系列机器人可以在没有轨道的情况下进入 EFEM 的 2 个和 3 个 FOUP。专门设计的驱动系统使机器人能够非常平稳、高精度地移动。此外，其刚性伸缩机构可在高低位置实现高速搬运。
该系列符合 SEMI-F47 标准和 SEMI-S2 标准。
应用
硅晶片搬运
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