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关节型机器人 NTS series 4轴5轴搬运
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产品规格型号
- 类型
- 关节型
- 轴数量
- 4轴, 5轴
- 功能
- 搬运, 多功能
- 应用领域
- 用于无菌室
- 最大载荷
0.7 kg
(1.543 lb)- 作用范围
1,066 mm
(41.97 in)- 重复精度
0.1 mm
(0.0039 in)
产品介绍
NTS系列可以用一台机器人在没有走行装置的情况下对应从2FOUP到3FOUP的EFEM。具备川崎自主开发的驱动部分，能够实现高精度、高刚性的动作。
应用分类
晶圆搬运
