关节型机器人 NTS series
4轴5轴多功能

关节型机器人
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产品规格型号

类型
关节型
轴数量
4轴, 5轴
功能
搬运, 多功能
应用领域
用于无菌室
最大载荷

0.7 kg
(1.543 lb)

作用范围

1,066 mm
(41.97 in)

重复精度

0.1 mm
(0.0039 in)

产品介绍

NTS系列可以用一台机器人在没有走行装置的情况下对应从2FOUP到3FOUP的EFEM。具备川崎自主开发的驱动部分,能够实现高精度、高刚性的动作。 应用分类 晶圆搬运

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* 显示价格为参考价,此价格不含税、不含运费、不含关税,也不包含因安装或投入使用所产生的其他额外费用。参考价格可能因国家、原材料价格和汇率的不同而产生变化。