现在,同一个试样架可以同时用于光学显微镜和扫描电子显微镜。因此,通过用专用软件管理平台信息,系统可以记录用光学显微镜观察到的位置,然后用扫描电子显微镜进一步放大相同的区域,以更高的放大率和更高的分辨率观察精细的结构。用光学显微镜发现的观察目标可以用扫描电子显微镜进行无缝观察,而不必再次寻找目标。现在有可能顺利和容易地比较和验证光学显微镜图像和扫描电子显微镜图像。
利用色彩进行数据采集和直观的观察
通过添加光学显微镜图像的可见光颜色信息(不能用SEM图像获得),它提供了一个具有更直观视觉效果的SEM图像。
利用光学显微镜的特点进行流畅的目标搜索
用光学显微镜进行观察,可以很容易地找到目标结构,而这些结构用SEM图像是很难区分的。
防止电子束对试样的损害
为了防止电子束的损坏或污染,首先用光学显微镜找到感兴趣的区域。这使得SEM观察时对观察点的辐射剂量最小。
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