软X射线发射光谱仪(SXES)是一个超高分辨率的光谱仪,由一个新开发的衍射光栅和一个高灵敏度的X射线CCD相机组成。
与EDS相同,可以进行平行检测,可以进行0.3 eV(费米边,Al-L标准)的超高能量分辨率分析,超过了WDS的能量分辨率。
系统概要
新开发的光谱仪光学系统设计可以同时测量不同能量的光谱,无需移动衍射光栅或探测器(CCD)。在高能量分辨率下,可以进行化学状态分析制图。
SXES、WDS和EDS的比较
氮化钛的光谱与各种光谱分析方法的比较
对于氮化钛,N-Kα和Ti-Ll的峰是重叠的。即使是WDS,也需要用数学方法进行波形解旋。如下图所示,用SXES有很高的能量分辨率,可以观察到TiLl。
锂离子电池(LIB)分析实例
下面的例子显示了具有不同充电状态的锂离子电池样品的大面积地图。SXES可以绘制价带态(左)和基态(中)的Li-K峰。碳分布图(右)也可以看到完全放电的LIB上的功能。
轻元素测量实例
使用SXES对碳化合物进行测量
可以测量钻石、石墨和聚合物之间的差异。通过π和σ键的附加峰可以观察到这些差异。
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