夹管阀 LD

手动排放控制

手动低压隔膜阀 LD SERIES — 超高纯度（UHP）高温、零死腔

产品用途与目的
LD SERIES 手动低压隔膜阀用于半导体制程中的超高纯度（UHP）真空和低压蒸气管线，尤其适用于 CVD、ALD 等需加热管线的场景。其提供可靠的手动流路隔离，并通过设计消除可能影响亚纳米级晶圆制程的虚拟泄漏。

通过设计消除虚拟泄漏

• 零死腔结构：优化的内部潮湿腔体无隐藏口袋，消除分子滞留。
• 高温材料选择：潮湿部件采用 316L VIM‑VAR 不锈钢，隔膜采用 Hastelloy C‑22 或以钴为基的超合金（UNS R30003），在持续加热下保持结构与密封完整性。
• 电解抛光内表面：内表面电解抛光至 < 5 micro‑inches Ra，降低吸附并在抽真空/吹扫过程中加快解吸。

安装与维护指南
双重密封组件必须在经认证的 Class 100 洁净室内开封。推荐采用轨道对接焊（orbital butt‑weld）或 VCR 面封连接。使用加热夹套时，确认加热覆盖均匀且不超过阀门额定最高温度。投入工艺前进行真空衰减测试和氦质谱泄漏检查以确认基线完整性。

LD SERIES
低压手动隔膜阀

特点
阀体

• 316L VIM‑VAR 不锈钢阀体，适用于超高纯度应用。
• 内表面粗糙度可达 < 5 μin Ra，流道可完全清洁。
• 最小化滞留区域，便于吹扫并最大化流量能力。

隔膜

• Hastelloy C‑22 或钴基超合金（UNS R30003），具备耐高温与耐腐蚀性能。
• 设计以延长循环寿命。

阀座

• 全封闭 PCTFE 阀座设计，抗膨胀与污染。
• 氦气泄漏测试性能良好，颗粒产生极少。
• 在高洁净条件下组装并包装；出厂前进行氦气测试。

技术参数
提供参考用技术图和尺寸图（尺寸为毫米；如有变更恕不另行通知）。

产品尺寸
尺寸仅供参考，可能会更新。

流道形状
流道经优化以最小化滞留并最大化吹扫效率。

订购信息
LD SERIES 系列提供多种配置与标准订购规格可选。

规格

• 型号 / 系列：LD SERIES
• 应用：用于半导体工艺（CVD、ALD）的 UHP 真空与低压蒸气管线
• 阀体材料：316L VIM‑VAR 不锈钢
• 内表面处理：电解抛光至 < 5 micro‑inches Ra
• 隔膜材料：Hastelloy C‑22 或钴基超合金（UNS R30003）
• 阀座材料/设计：全封闭 PCTFE 阀座
• 结构：零死腔内部潮湿腔体
• 洁净室处理：双重密封包装；适合 Class 100 开封与高洁净组装
• 连接选项：轨道对接焊或 VCR 面封（推荐）
• 测试：真空衰减及氦质谱泄漏测试；出厂前氦气检测
• 操作注意事项：为加热气体管线设计；确认加热夹套覆盖均匀且不超过最大允许温度