隔膜阀 HD

气动流量控制隔离

气动隔膜阀 HD Series — 316L 不锈钢，高纯度，高压，用于实验室专用气体

产品应用与用途
HD Series 气动隔膜阀用于高纯度实验室气体系统的自动流量控制与隔离。适用于半导体、分析和研究环境，可管理高压特殊气体（易燃、有毒、惰性），并可与安全联锁集成，实现远程、可重复控制。

核心技术特性

• 高压材料：316L VIM-VAR 不锈钢阀体，视配置可承受最高约 3,000 psig 的工作压力。
• 高纯度表面处理：湿润通道精密抛光至 Ra 10 μin 或更低（典型可达 Ra 5 μin），以减少颗粒生成和水分滞留。
• 气密隔膜密封：金属对金属隔膜设计，避免弹性体密封，氦泄漏率低于 1×10-9 atm cc/sec。
• 气动自动化：可选常闭（NC）或常开（NO），气动执行器使用仪表空气，实现快速、无火花的动作。

安装与安全指南
在洁净环境中搬运与安装。使用集成 VCR 面密封或对接焊连接，安装新的垫圈。向执行机构供给洁净、干燥的仪表空气，按规定的先导压力调节。投入使用前进行氦检漏和干燥氮气吹扫以确认系统完整性。

HD SERIES
高压气动隔膜阀

特点
阀体

• 316L VIM-VAR 不锈钢阀体，适用于超高纯度应用。
• 内部表面可达 Ra 5 μin；流道可完全清洁。
• 最小化滞留区，便于吹扫并最大化流量能力。

隔膜

• 可选 Hastelloy C-22 或钴基超级合金（UNS R30003），提供强度和耐腐蚀性。
• 结构优化以延长循环寿命。

阀座

• 全封闭 PCTFE 阀座抗胀、抗污染，提高氦密性，减少颗粒产生。
• 符合半导体行业要求的高洁净组装与包装。
• 每台产品出厂前均进行氦检测试验。

技术数据
以毫米为单位的尺寸仅供参考，随配置可能变更。

订购信息
标准配置包括 NC/NO 气动执行器、VCR 面密封或对接焊连接，以及隔膜/阀座材料选项。详见产品页面上的订购表。

技术规格

• 阀体材料：316L 不锈钢（VIM-VAR）
• 最大工作压力：最高可达 3,000 psig（具体配置见产品表）
• 内部表面光洁度：可达 Ra 5 μin（湿润通道典型 Ra ≤ 10 μin）
• 密封完整性：氦泄漏率 < 1×10-9 atm cc/sec（金属对金属隔膜）
• 隔膜材料：Hastelloy C-22 或钴基超级合金（UNS R30003）
• 阀座材料：全封闭 PCTFE
• 驱动方式：气动执行器；可选 NC（Normally Closed）或 NO（Normally Open）
• 端接形式：集成 VCR 面密封或管对接焊
• 洁净度：高洁净组装与包装；每台进行氦检验
• 应用：实验室专用气体、半导体与分析气体系统、气相色谱、研究机构